[实用新型]快速退火炉的反应腔体结构

权利要求书

1.快速退火炉的反应腔体结构，其特征在于，所述腔体包括金属腔体和金属腔体内部的石英腔体，金属腔体与石英腔体之间为加热灯带，所述金属腔体由上板、下板、前板、后板、左侧板、右侧板拼装而成，所述前板、后板、左侧板、右侧板上设有若干灯夹，灯夹上安装有加热灯，所述石英腔体的后端设有工艺气体进气板，并由后法兰固定，石英腔体的前端设有废气排出管，石英腔体内设有石英托片架，所述石英托片架上固定有硅片，前法兰的中央设有工艺气体进气管，前法兰与石英腔体的接触面上设有密封圈，所述上板、下板上设有若干均匀分布的小孔，使得冷却气体通过小孔分流呈均匀状态进入金属腔体。

2.根据权利要求1所述的快速退火炉的反应腔体结构，其特征在于，所述金属腔体的上板、下板、前板、后板、左侧板、右侧板均为铝板。

3.根据权利要求1所述的快速退火炉的反应腔体结构，其特征在于，所述石英腔体由前法兰、石英扁盒及后法兰熔焊而成，所述石英腔体的中心设有一长条形孔，该孔以蓝宝石薄片熔焊密封。

4.根据权利要求1所述的快速退火炉的反应腔体结构，其特征在于，所述石英托片架由石英板、石英顶针、石英小管熔焊而成，所述石英板的中心设有圆孔，圆孔的圆周固定设有用于承托硅片的石英顶针，所述石英板的上、下两侧边缘设有石英小管，所述石英板的末端设有定位小孔，两个定位小孔之间的石英板与圆孔相通。