[实用新型]快速退火炉的反应腔体结构

说明书

技术领域

本实用新型涉及焊丝加工设备领域，具体地说，是快速退火炉的反应腔体结构。

背景技术

目前在国外快速退火炉设备中，炉腔大多数为对称设计，一般为圆形或六角形，因此大部分的灯排列都采用同心圆形式。这种结构的设计难点在于磁悬浮硅片旋转驱动机构的设计于平稳运动控制。硅片在加热过程中需要旋转，由于硅片是放在石英顶针上，为防止夹持出热集中或三十，硅片采取无任何夹持的自由状态，这就必需有一套精密的机构来实现以防止震动和保持水平，这对设计和加工都有一定的难度。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术的不足，提供快速退火炉的反应腔体结构。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

本实用新型涉及快速退火炉的反应腔体结构，其特征在于，所述腔体包括金属腔体和金属腔体内部的石英腔体，金属腔体与石英腔体之间为加热灯带，所述金属腔体由上板、下板、前板、后板、左侧板、右侧板拼装而成，所述前板、后板、左侧板、右侧板上设有若干灯夹，灯夹上安装有加热灯，所述石英腔体的后端设有工艺气体进气板，并由后法兰固定，石英腔体的前端设有废气排出管，石英腔体内设有石英托片架，所述石英托片架上固定有硅片，前法兰的中央设有工艺气体进气管，前法兰与石英腔体的接触面上设有密封圈，所述上板、下板上设有若干均匀分布的小孔，使得冷却气体通过小孔分流呈均匀状态进入金属腔体。

进一步地，所述金属腔体的上板、下板、前板、后板、左侧板、右侧板均为铝板。

进一步地，所述石英腔体由前法兰、石英扁盒及后法兰熔焊而成，所述石英腔体的中心设有一长条形孔，该孔以蓝宝石薄片熔焊密封。

进一步地，所述石英托片架由石英板、石英顶针、石英小管熔焊而成，所述石英板的中心设有圆孔，圆孔的圆周固定设有用于承托硅片的石英顶针，所述石英板的上、下两侧边缘设有石英小管，所述石英板的末端设有定位小孔，两个定位小孔之间的石英板与圆孔相通。

与现有技术相比，本实用新型的积极效果是：

1.本实用新型加工和装配方便，而且硅片不需要旋转，避免了复杂的旋转机构和碎片可能性，而且也是控制的单元数减少，增加系统可靠性。

附图说明

图1是快速退火炉的反应腔体结构的示意图；

图2是所述石英腔体的结构示意图；

图3是所述石英托片架的结构示意图。

附图1～3中的标记分别为：1.金属腔体；2.石英腔体；3.灯带；4.硅片；5.石英托片架；6.工艺气体进气管；7.冷却气体排出口；8.冷却气体入口；9.废气排出管；10.前法兰；11.后法兰；12.炉门；13.高温计；14.工艺气体进气板；15.石英扁盒；16.蓝宝石薄片；17.石英板；18.石英顶针；19.石英小管；20.定位小孔。

具体实施方式

为了使本实用新型实现的技术手段、创新特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体图示，进一步阐述本实用新型。

本实用新型涉及快速退火炉的反应腔体结构，其特征在于，所述腔体包括金属腔体1和金属腔体内部的石英腔体2，金属腔体1与石英腔体2之间为加热灯带3，所述金属腔体1由上板、下板、前板、后板、左侧板、右侧板拼装而成，所述前板、后板、左侧板、右侧板上设有若干灯夹，灯夹上安装有加热灯，所述石英腔体的后端设有工艺气体进气板14，并由后法兰11固定，石英腔体的前端设有废气排出管9，石英腔体内设有石英托片架5，所述石英托片架上固定有硅片4，前法兰的中央设有工艺气体进气管6，前法兰与石英腔体的接触面上设有密封圈，该密封圈将石英腔体与外界隔离，避免外界气体或颗粒进入腔体内对硅片造成污染，同时也可以避免反应气体的泄漏。所述上板、下板上设有若干均匀分布的小孔，使得冷却气体通过小孔分流呈均匀状态进入金属腔体。

其中，所述金属腔体1的上板、下板、前板、后板、左侧板、右侧板均为铝板。

其中，所述石英腔体2由前法兰10、石英扁盒15及后法兰11熔焊而成，所述石英腔体的中心设有一长条形孔，该孔以蓝宝石薄片16熔焊密封，其作用是加热时其中一个光学高温计通过该处收集硅片表面的红外辐射能量，测量硅片表面的温度。