[实用新型]废光刻胶回收再生系统有效
| 申请号： | 201621143287.4 | 申请日： | 2016-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN206400266U | 公开（公告）日： | 2017-08-11 |
| 发明（设计）人： | 罗文烽 | 申请（专利权）人： | 罗文烽 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 杭州浙科专利事务所(普通合伙)33213 | 代理人： | 沈渊琪 |
| 地址： | 中国台湾新北*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光刻 回收 再生 系统 | ||
【权利要求书】：
1.一种废光刻胶回收再生系统，其特征在于，包括：
中和装置，用于对废光刻胶进行中和处理；
脱水装置，连通至所述中和装置，且用于对所述中和处理后的所述废光刻胶进行脱水处理；以及
交联化装置，连通至所述脱水装置，且用于对所述脱水处理后的所述废光刻胶进行交联处理，而获得交联聚合物。
2.根据权利要求1所述的废光刻胶回收再生系统，其特征在于，所述中和装置包括：
中和处理槽，用于容置所述废光刻胶；以及
酸添加装置，连通至所述中和处理槽。
3.根据权利要求2所述的废光刻胶回收再生系统，其特征在于，所述中和装置还包括搅拌装置，设置于所述中和处理槽中。
4.根据权利要求1所述的废光刻胶回收再生系统，其特征在于，所述交联化装置包括：
交联处理槽，用于容置所述脱水处理后的所述废光刻胶；
酸添加装置，连通至所述交联处理槽；
氧化剂添加装置，连通至所述交联处理槽；以及
催化剂添加装置，连通至所述交联处理槽。
5.根据权利要求1所述的废光刻胶回收再生系统，其特征在于，还包括纯化装置，连通至所述交联化装置，且用于纯化所述交联聚合物。
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