[实用新型]超低浓度水汽发生装置

权利要求书

1.超低浓度水汽发生装置，其特征在于，包括：

气源贮存机构与混合容器，所述气源贮存机构用于提供干燥气源；

第一输气管路与第二输气管路，所述第一输气管路一端、所述第二输气管路一端与所述气源贮存机构相连通，所述第一输气管路另一端、所述第二输气管路另一端连通至所述混合容器；

水汽饱和器与计量阀，所述水汽饱和器与所述计量阀沿着气流方向依次设置在所述第一输气管路上，所述水汽饱和器用于将所述第一输气管路中的气流加湿处理，所述计量阀用于对所述第一输气管路中的气流膨胀降压处理。

2.根据权利要求1所述的超低浓度水汽发生装置，其特征在于，所述第一输气管路上设置有第一流量调节阀，所述第二输气管路上设置有第二流量调节阀。

3.根据权利要求1所述的超低浓度水汽发生装置，其特征在于，还包括设置在所述气源贮存机构与所述第一输气管路、所述第二输气管路之间的三通流量调节阀，所述气源贮存机构通过管道与所述三通流量调节阀的进气口相连，所述三通流量调节阀的其中一个出气口与所述第一输气管路相连，所述三通流量调节阀的另一个出气口与所述第二输气管路相连。

4.根据权利要求3所述的超低浓度水汽发生装置，其特征在于，所述气源贮存机构包括压缩储气罐、第一减压阀与第二减压阀，所述压缩储气罐的输气口通过管道与所述三通流量调节阀的进气口相连，所述第一减压阀与所述第二减压阀设置在所述压缩储气罐与所述三通流量调节阀的进气口相连的管道上。

5.根据权利要求4所述的超低浓度水汽发生装置，其特征在于，所述压缩储气罐中装设的气体压力为5MPa～15Mpa、纯度为99.999％的高纯氮气。

6.根据权利要求4所述的超低浓度水汽发生装置，其特征在于，所述气源贮存机构还包括第一压力表与第二压力表，所述第一压力表、所述第二压力表设置在所述压缩储气罐与所述三通流量调节阀的进气口相连的管道上，所述第一压力表用于检测所述第一减压阀出气端的气流压力值，所述第二压力表用于检测所述第二减压阀出气端的气流压力值。

7.根据权利要求1～6任一项所述的超低浓度水汽发生装置，其特征在于，所述第一输气管路上设置有第三压力表，所述第三压力表用于检测所述计量阀出气端的气流压力值。

8.根据权利要求1所述的超低浓度水汽发生装置，其特征在于，所述水汽饱和器包括外壳体与设置于所述外壳体内的多个隔板，所述外壳体的进气口位于所述外壳体的顶部，所述外壳体的出气口位于所述外壳体的底部，所述外壳体的进气口通过管道连接有加水机构；所述隔板首尾相连、并呈Z字形设置，所述隔板靠近所述外壳体进气口的一端与所述外壳体内侧壁相连，所述隔板上布置有若干个通孔。

9.根据权利要求8所述的超低浓度水汽发生装置，其特征在于，相邻所述隔板之间的夹角为30～70度。

10.根据权利要求1所述的超低浓度水汽发生装置，其特征在于，所述第一输气管路以第一方向连通至所述混合容器，所述第二输气管路以第二方向连通至所述混合容器，所述第一方向与所述第二方向相对设置或者交叉设置。