[实用新型]超低浓度水汽发生装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种水汽发生装置，尤其是涉及一种超低浓度水汽发生装置。

背景技术

传统的水汽发生装置包括分流式湿度发生器与分压式湿度发生器。其中，分流式湿度发生器是采用干燥的空气或氮气作为气源,用两台质量流量控制器将这股干燥气体按不同比例准确地分为两股,其中一股在一定温度下通过饱和器增湿,使之成为饱和湿气(即相对湿度为100％RH),然后在相同的温度下与另一股干气混合。通过两台质量流量计调节饱和湿气和干气的流量,便可得到不同相对湿度的恒湿气流。

分压式湿度发生器是将干燥的空气作为气源，通过压缩机压缩空气后在稳定的高压状态下饱和，然后在相同的温度下膨胀降压至稳定的低压状态,即可得到恒湿气源。其湿度值可根据饱和室温度、高压压力和低压压力而测定。通过改变高压压力或改变低压压力,就可以得到不同相对湿度的恒湿气流。

虽然该两种湿度发生器可产生相对湿度范围为(1～98)％RH的恒湿气流，但是，传统的分流式或分压式湿度发生器均无法产生水汽含量为超低浓度的ppm级(1×10^-6)的低湿水汽。

发明内容

基于此，本实用新型在于克服现有技术的缺陷，提供一种超低浓度水汽发生装置，它能够产生水汽体积百分含量为ppm级的低湿水汽。

其技术方案如下：超低浓度水汽发生装置，包括：气源贮存机构与混合容器，所述气源贮存机构用于提供干燥气源；第一输气管路与第二输气管路，所述第一输气管路一端、所述第二输气管路一端与所述气源贮存机构相连通，所述第一输气管路另一端、所述第二输气管路另一端连通至所述混合容器；水汽饱和器与计量阀，所述水汽饱和器与所述计量阀沿着气流方向依次设置在所述第一输气管路上，所述水汽饱和器用于将所述第一输气管路中的气流加湿处理，所述计量阀用于对所述第一输气管路中的气流膨胀降压处理。

在其中一个实施例中，所述第一输气管路上设置有第一流量调节阀，所述第二输气管路上设置有第二流量调节阀。

在其中一个实施例中，所述超低浓度水汽发生装置还包括设置在所述气源贮存机构与所述第一输气管路、所述第二输气管路之间的三通流量调节阀，所述气源贮存机构通过管道与所述三通流量调节阀的进气口相连，所述三通流量调节阀的其中一个出气口与所述第一输气管路相连，所述三通流量调节阀的另一个出气口与所述第二输气管路相连。

在其中一个实施例中，所述气源贮存机构包括压缩储气罐、第一减压阀与第二减压阀，所述压缩储气罐的输气口通过管道与所述三通流量调节阀的进气口相连，所述第一减压阀与所述第二减压阀设置在所述压缩储气罐与所述三通流量调节阀的进气口相连的管道上。

在其中一个实施例中，所述压缩储气罐中装设的气体压力为5MPa～15Mpa、纯度为99.999％的高纯氮气。

在其中一个实施例中，所述气源贮存机构还包括第一压力表与第二压力表，所述第一压力表、所述第二压力表设置在所述压缩储气罐与所述三通流量调节阀的进气口相连的管道上，所述第一压力表用于检测所述第一减压阀出气端的气流压力值，所述第二压力表用于检测所述第二减压阀出气端的气流压力值。

在其中一个实施例中，所述第一输气管路上设置有第三压力表，所述第三压力表用于检测所述计量阀出气端的气流压力值。

在其中一个实施例中，所述水汽饱和器包括外壳体与设置于所述外壳体内的多个隔板，所述外壳体的进气口位于所述外壳体的顶部，所述外壳体的出气口位于所述外壳体的底部，所述外壳体的进气口通过管道连接有加水机构；所述隔板首尾相连、并呈Z字形设置，所述隔板靠近所述外壳体进气口的一端与所述外壳体内侧壁相连，所述隔板上布置有若干个通孔。

在其中一个实施例中，相邻所述隔板之间的夹角为30～70度。

在其中一个实施例中，所述第一输气管路以第一方向连通至所述混合容器，所述第二输气管路以第二方向连通至所述混合容器，所述第一方向与所述第二方向相对设置或者交叉设置。

下面对前述技术方案的优点或原理进行说明：