[实用新型]烘膜机时序自动控制上下芯片装置有效

专利信息
申请号: 201621191998.9 申请日: 2016-10-27
公开(公告)号: CN206332015U 公开(公告)日: 2017-07-14
发明(设计)人: 蔡世军 申请(专利权)人: 常州银河世纪微电子股份有限公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677;H01L21/67
代理公司: 常州市科谊专利代理事务所32225 代理人: 孙彬
地址: 213022 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 机时 自动控制 上下 芯片 装置
【说明书】:

技术领域

本实用新型涉及一种烘膜机时序自动控制上下芯片装置,属于芯片加工技术领域。

背景技术

在芯片加工过程中,芯片贴完膜后需要进行烘膜环节,即使用100℃高温烘烤蓝膜,增加蓝膜与芯片的粘结强度。在烘膜过程中需要控制烘烤的时间,否则可能会造成蓝膜太粘或烤焦,造成产品的报废。因此设计一种烘膜机时序自动控制上下芯片装置,以便计时烘膜时间与报警,还能在没有人及时处理的情况下具有自动将产品送出100℃的高温区的“防呆”功能。

发明内容

本实用新型所要解决的技术问题是:克服现有技术的不足,提供一种烘膜机时序自动控制上下芯片装置,以便自动完成芯片的烘膜。

为了解决上述技术问题,本实用新型的技术方案是:一种烘膜机时序自动控制上下芯片装置,包括安装在烘膜机高温区的平行导轨,平行导轨上可来回滑动地安装有片环装置,还包括用于控制片环装置沿平行导轨向前和向后滑动的气缸,所述气缸由第一电磁阀和第二电磁阀控制气缸的气源,并且烘膜机的报警器信号接入第一电磁阀和第二电磁阀,当烘膜时间到,报警信号与电磁阀信号同步触发,第一电磁阀出气,使气缸将片环装置推出;当报警信号取消,第二电磁阀出气,使气缸将片环装置拉回。

进一步,所述平行导轨设置有三个,相邻两个平行导轨之间设置一个片环装置。

进一步,所述平行导轨的一侧面设有气缸安装孔,所述气缸安装在该气缸安装孔处。

采用了上述技术方案后,本实用新型利用电磁阀控制气缸,并且电磁阀与报警信号同步,当烘膜时间到,报警信号与电磁阀信号同步触发,第一电磁阀出气,使气缸将片环装置推出,产品离开高温区域;当报警信号取消,第二电磁阀出气,使气缸将片环装置拉回,产品到达高温区域;将本实用新型应用于烘膜机上,能提高芯片加工的自动化程度,达到设备的自动化运行,能有效控制产品品质,节约人力成本。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图;

图中,1、平行导轨,2、片环装置,3、气缸安装孔。

具体实施方式

为了使本实用新型的内容更容易被清楚地理解,下面根据具体实施例并结合附图,对本实用新型作进一步详细的说明。

如图1所示,一种烘膜机时序自动控制上下芯片装置,包括安装在烘膜机高温区的平行导轨1,平行导轨1上可来回滑动地安装有片环装置2,片环装置2用于放置芯片,还包括用于控制片环装置沿平行导轨1向前和向后滑动的气缸,所述气缸由第一电磁阀和第二电磁阀控制气缸的气源,并且烘膜机的报警器信号接入第一电磁阀和第二电磁阀,当烘膜时间到,报警信号与电磁阀信号同步触发,第一电磁阀出气,使气缸将片环装置2推出;当报警信号取消,第二电磁阀出气,使气缸将片环装置2拉回。

可选地,如图1所示,所述平行导轨1设置有三个,相邻两个平行导轨1之间设置一个片环装置2。

可选地,如图1所示,所述平行导轨1的一侧面设有气缸安装孔3,所述气缸安装在该气缸安装孔3处。

本实用新型利用电磁阀控制气缸,并且电磁阀与报警信号同步,当烘膜时间到,报警信号与电磁阀信号同步触发,第一电磁阀出气,使气缸将片环装置2推出,产品离开高温区域;当报警信号取消,第二电磁阀出气,使气缸将片环装置2拉回,产品到达高温区域;将本实用新型应用于烘膜机上,能提高芯片加工的自动化程度,达到设备的自动化运行,能有效控制产品品质,节约人力成本。

以上所述的具体实施例,对本实用新型解决的技术问题、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明,所应理解的是,以上所述仅为本实用新型的具体实施例而已,并不用于限制本实用新型,凡在本实用新型的精神和原则之内,所做的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。

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