[实用新型]烘膜机时序自动控制上下芯片装置有效
申请号: | 201621191998.9 | 申请日: | 2016-10-27 |
公开(公告)号: | CN206332015U | 公开(公告)日: | 2017-07-14 |
发明(设计)人: | 蔡世军 | 申请(专利权)人: | 常州银河世纪微电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L21/67 |
代理公司: | 常州市科谊专利代理事务所32225 | 代理人: | 孙彬 |
地址: | 213022 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 机时 自动控制 上下 芯片 装置 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种烘膜机时序自动控制上下芯片装置,属于芯片加工技术领域。
背景技术
在芯片加工过程中,芯片贴完膜后需要进行烘膜环节,即使用100℃高温烘烤蓝膜,增加蓝膜与芯片的粘结强度。在烘膜过程中需要控制烘烤的时间,否则可能会造成蓝膜太粘或烤焦,造成产品的报废。因此设计一种烘膜机时序自动控制上下芯片装置,以便计时烘膜时间与报警,还能在没有人及时处理的情况下具有自动将产品送出100℃的高温区的“防呆”功能。
发明内容
本实用新型所要解决的技术问题是:克服现有技术的不足,提供一种烘膜机时序自动控制上下芯片装置,以便自动完成芯片的烘膜。
为了解决上述技术问题,本实用新型的技术方案是:一种烘膜机时序自动控制上下芯片装置,包括安装在烘膜机高温区的平行导轨,平行导轨上可来回滑动地安装有片环装置,还包括用于控制片环装置沿平行导轨向前和向后滑动的气缸,所述气缸由第一电磁阀和第二电磁阀控制气缸的气源,并且烘膜机的报警器信号接入第一电磁阀和第二电磁阀,当烘膜时间到,报警信号与电磁阀信号同步触发,第一电磁阀出气,使气缸将片环装置推出;当报警信号取消,第二电磁阀出气,使气缸将片环装置拉回。
进一步,所述平行导轨设置有三个,相邻两个平行导轨之间设置一个片环装置。
进一步,所述平行导轨的一侧面设有气缸安装孔,所述气缸安装在该气缸安装孔处。
采用了上述技术方案后,本实用新型利用电磁阀控制气缸,并且电磁阀与报警信号同步,当烘膜时间到,报警信号与电磁阀信号同步触发,第一电磁阀出气,使气缸将片环装置推出,产品离开高温区域;当报警信号取消,第二电磁阀出气,使气缸将片环装置拉回,产品到达高温区域;将本实用新型应用于烘膜机上,能提高芯片加工的自动化程度,达到设备的自动化运行,能有效控制产品品质,节约人力成本。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图;
图中,1、平行导轨,2、片环装置,3、气缸安装孔。
具体实施方式
为了使本实用新型的内容更容易被清楚地理解,下面根据具体实施例并结合附图,对本实用新型作进一步详细的说明。
如图1所示,一种烘膜机时序自动控制上下芯片装置,包括安装在烘膜机高温区的平行导轨1,平行导轨1上可来回滑动地安装有片环装置2,片环装置2用于放置芯片,还包括用于控制片环装置沿平行导轨1向前和向后滑动的气缸,所述气缸由第一电磁阀和第二电磁阀控制气缸的气源,并且烘膜机的报警器信号接入第一电磁阀和第二电磁阀,当烘膜时间到,报警信号与电磁阀信号同步触发,第一电磁阀出气,使气缸将片环装置2推出;当报警信号取消,第二电磁阀出气,使气缸将片环装置2拉回。
可选地,如图1所示,所述平行导轨1设置有三个,相邻两个平行导轨1之间设置一个片环装置2。
可选地,如图1所示,所述平行导轨1的一侧面设有气缸安装孔3,所述气缸安装在该气缸安装孔3处。
本实用新型利用电磁阀控制气缸,并且电磁阀与报警信号同步,当烘膜时间到,报警信号与电磁阀信号同步触发,第一电磁阀出气,使气缸将片环装置2推出,产品离开高温区域;当报警信号取消,第二电磁阀出气,使气缸将片环装置2拉回,产品到达高温区域;将本实用新型应用于烘膜机上,能提高芯片加工的自动化程度,达到设备的自动化运行,能有效控制产品品质,节约人力成本。
以上所述的具体实施例,对本实用新型解决的技术问题、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明,所应理解的是,以上所述仅为本实用新型的具体实施例而已,并不用于限制本实用新型,凡在本实用新型的精神和原则之内,所做的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于常州银河世纪微电子股份有限公司,未经常州银河世纪微电子股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201621191998.9/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造