[实用新型]用于处理在太阳能电池制造中使用的基板的装置有效
申请号: | 201621193630.6 | 申请日: | 2016-10-28 |
公开(公告)号: | CN206471344U | 公开(公告)日: | 2017-09-05 |
发明(设计)人: | A·沃尔坦;M·佳利亚佐;L·德桑蒂 | 申请(专利权)人: | 应用材料意大利有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司31100 | 代理人: | 侯颖媖 |
地址: | 意大利*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 处理 太阳能电池 制造 使用 装置 | ||
1.一种用于处理在太阳能电池制造中使用的基板的装置,所述装置包括:
检查组件,所述检查组件被配置为检测第一基板上的第一线路图案的第一尺寸;
处理设备,所述处理设备被配置为在所述第一线路图案上方提供第二线路图案,以便形成组合的线路图案,其中所述检查组件还配置为检测所述组合的线路图案的第二尺寸;以及
对准设备,所述对准设备被配置为基于所述第一尺寸和所述第二尺寸来将所述处理设备和第二基板中的至少一者对准。
2.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述第一线路图案的所述第一尺寸包括所述第一线路图案的宽度和所述第一线路图案的长度中的至少一者,并且其中所述组合的线路图案的所述第二尺寸包括所述组合的线路图案的宽度和所述组合的线路图案的长度中的至少一者。
3.根据权利要求2所述的装置,其特征在于,所述第一线路图案和所述组合的线路图案中的至少一者的宽度是平均宽度或最大宽度,并且其中所述第一线路图案和所述组合的线路图案中的至少一者的长度是平均长度或最大长度。
4.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述检查组件包括一或多个相机,所述一或多个相机被配置为检测所述第一尺寸和所述第二尺寸。
5.根据权利要求4所述的装置,其特征在于,所述一或多个相机包括一或多个第一相机和一或多个第二相机,所述一或多个第一相机被配置为检测所述第一尺寸,所述一或多个第二相机被配置为检测所述第二尺寸,或者其中所述一或多个相机中的相同相机被配置为检测所述第一尺寸和所述第二尺寸两者。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的装置,其特征在于,所述对准设备被配置为计算X校正值、Y校正值和角校正值中的至少一者来将所述处理设备和所述第二基板中的至少一者对准。
7.根据权利要求6所述的装置,其特征在于,所述对准设备被配置为:
将所述第一尺寸和所述第二尺寸进行比较;以及
基于比较结果计算所述X校正值、所述Y校正值和所述角校正值中的至少一者来将所述处理设备和所述第二基板中的至少一个对准。
8.根据权利要求7所述的装置,其特征在于,所述装置被配置为确定所述组合的线路图案相对于所述第一线路图案的相对放大。
9.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述处理设备选自包括以下各项的组:印刷头、被配置用于丝网印刷的印刷头、喷墨式打印机、激光设备,以及它们的任何组合。
10.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述装置被配置为在所述第一基板上提供所述第一线路图案。
11.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述装置被配置为在所述第二基板上提供另一第一线路图案之前,基于所述第一尺寸和所述第二尺寸来将所述处理设备和所述第二基板中的至少一者对准。
12.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述装置被配置为在所述第二基板上的另一第一线路图案上提供另一第二线路图案之前,基于所述第一尺寸和所述第二尺寸来将所述处理设备和所述第二基板中的至少一者对准。
13.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述装置被配置为用于双重印刷、多重印刷、喷墨印刷和激光刻划中的至少一者。
14.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述组合的线路图案形成大阳能电池的指状部。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的