[实用新型]用于处理在太阳能电池制造中使用的基板的装置

说明书

技术领域

本公开的实施方式涉及一种用于处理在太阳能电池制造中使用的基板的装置。本公开的实施方式具体涉及用于将材料沉积到在太阳能电池制造中使用的基板上(诸如太阳能电池的线路图案或印刷迹线(例如，指状部和/或母线)的双重印刷)的装置。

背景技术

太阳能电池是将阳光直接转换成电能的光伏(PV)器件。在这个领域中，已知的是，使用沉积技术(诸如丝网印刷)在基板(诸如结晶硅基底层)上生产太阳能电池，从而在太阳能电池的一或多个表面上实现导电线路图案的结构。线路图案可以随后以多个沉积工艺形成。就所制造的太阳能电池的质量来说，在沉积工艺期间沉积的线路图案应当相对于彼此对准。举例来说，线路图案相对于彼此对准可影响所制造的太阳能电池的电特性，诸如输出功率。

鉴于上述内容，克服本领域的问题中的至少一些问题、用于处理在太阳能电池制造中使用的基板的新装置是有益的。本公开具体地旨在提供一种允许改进线路图案相对于彼此的对准的装置。

实用新型内容

鉴于上述内容，提供一种用于处理在太阳能电池制造中使用的基板的装置。本公开的进一步的方面、益处和特征从权利要求书、说明书和附图中显而易见。

根据本公开的一个方面，提供一种用于处理在太阳能电池制造中使用的基板(诸如第一基板和第二基板)的装置。所述装置包括：检查组件，所述检查组件被配置为检测第一基板上的第一线路图案的第一尺寸；处理设备，所述处理设备被配置为在所述第一线路图案上方提供第二线路图案，以便形成组合的线路图案，其中所述检查组件还配置为检测所述组合的线路图案的第二尺寸；以及对准设备，所述对准设备被配置为基于所述第一尺寸和所述第二尺寸来将所述处理设备和/或所述第二基板对准。

附图说明

因此，为了能够详细理解本公开的上述特征结构所用方式，上文所简要概述的本公开的更具体的描述可以参考实施方式得出。附图涉及本公开的实施方式，并且描述如下：

图1示出根据本文所述实施方式的用于处理在太阳能电池制造中使用的基板的装置的示意图；

图2示出根据本文所述实施方式的具有组合的线路图案的太阳能电池的俯视图；

图3示出图2的太阳能电池的横截面图；

图4A至图4C示出根据本文所述实施方式的用于处理在太阳能电池制造中使用的基板的装置的工作方案；

图5A至图5C示出根据本文所述实施方式的基板上的线路图案的第一尺寸和第二尺寸的实例；以及

图6示出根据本文所述实施方式的用于太阳能电池生产的系统。

具体实施方式

现将详细参考本公开的各种实施方式，这些实施方式的一或多个实例在附图中示出。在对附图的以下描述内，相同参考标号指代相同部件。一般来说，仅描述了相对于单独实施方式的差异。每个实例被提供用于解释本公开内容，而非意谓对本公开的限制。另外，例示或描述为一个实施方式的部分的特征可用于其他实施方式或与其他实施方式结合以产生另一实施方式。这意味着描述包括这样的修改和变化。

在太阳能电池制造中，线路图案可随后例如在丝网印刷工艺中提供(例如，印刷)于彼此之上。就制造的太阳能电池的质量来说，线路图案应当相对于彼此对准。举例来说，线路图案相对于彼此对准可影响所制造的太阳能电池的电特性，诸如输出功率。

本公开的装置执行对提供在基板上的线路图案的双重检查来使将提供在后续基板上的线路图案对准。具体来说，检测第一尺寸，诸如所述第一线路图案的第一宽度，并且接着在第一线路图案上提供(例如，沉积)第二线路图案。随后，检测组合的线路图案的第二尺寸(诸如第二宽度)。处理设备和/或后续基板可使用从第一尺寸和第二尺寸获得的信息来进行对准。举例来说，可对第一尺寸和第二尺寸进行比较，并且可从比较得知第二线路图案相对于第一线路图案的错位。可执行对后续基板的对准以使得针对第二基板校正错位。具体来说，可以改进后续基板上的另一第一线路图案和/或另一第二线路图案的对准。

图1示出根据本文所述实施方式的用于处理在太阳能电池制造中使用的基板10(诸如第一基板和第二基板)的装置100的示意图。根据本公开的装置100可为连续生产线路的一部分，并且可配置用于制造太阳能电池。