[实用新型]一种柔性材料的双面曝光装置有效
申请号: | 201621197248.2 | 申请日: | 2016-11-07 |
公开(公告)号: | CN206400258U | 公开(公告)日: | 2017-08-11 |
发明(设计)人: | 俞庆平 | 申请(专利权)人: | 俞庆平 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 安徽省合肥市蜀山区*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 柔性 材料 双面 曝光 装置 | ||
1.一种柔性材料双面曝光装置,包括曝光装置(300),所述的曝光装置(300)由光学系统(310)、扫描平台(320)、光源系统(330)、通讯模块(340)、计算机(350)、数据处理模块(360)组成;光学系统(310)和光源系统(330)安装在扫描平台(320)上,所述的光学系统(310)和光源系统(330)多组连续安装并且完全覆盖扫描平台(320)的宽度方向;计算机(350)与通讯模块(340)、扫描平台(320)、数据处理模块(360)分别相连接;所述的光源系统(330)与通讯模块(340)相连接;所述的光学系统(310)与通讯模块(340)相连接;所述的光学系统(310)由数字微镜装置(311)、成像系统(312)组成;其特征在于:还包括卷辊(100)、驱动电机(200),驱动电机(200)安装在卷辊(100)上,两个卷辊(100)之间绷紧的带状柔性材料两侧面上方分别安装一个曝光装置(300);所述的成像系统(312)上还安装有一个主动聚焦模块(313)。
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