[实用新型]一种柔性材料的双面曝光装置有效
申请号: | 201621197248.2 | 申请日: | 2016-11-07 |
公开(公告)号: | CN206400258U | 公开(公告)日: | 2017-08-11 |
发明(设计)人: | 俞庆平 | 申请(专利权)人: | 俞庆平 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 安徽省合肥市蜀山区*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 柔性 材料 双面 曝光 装置 | ||
技术领域
本发明涉及激光曝光技术,具体涉及一种柔性材料的双面曝光方法及装置。
背景技术
目前,在激光曝光技术领域,需要进行曝光的柔性材料包括柔性玻璃,铜板等;这些柔性材料由于不具备刚性材料的结构刚性,无法按照刚性材料的曝光方式进行曝光。因此针对此类材料,现有技术中一般采用以下方法进行曝光处理:
(1)使用刚性边框,将柔性材料绷紧在刚性边框内部,然后再进行曝光处理;
(2)强柔性材料紧贴在一块刚性的底板上进行曝光。
上述的曝光方式能够辅助柔性材料克服容易变形或翘曲等缺陷,使之适合在现有的技术条件下实施曝光操作。但是仍然存在以下缺点:
(1)曝光前需要对柔性材料进行衬底或绷框,过程比较麻烦;
(2)无法对较长的柔性材料进行连续的曝光;
(3)对于要求双面曝光的柔性材料,实施曝光的难度更大。
发明内容
本发明的目的在于提供一种柔性材料的双面曝光方法及装置,相对于现有技术,使用该方法能够对柔性材料的双面进行连续曝光,提高曝光效率。
为了达到上述技术目的,本发明提供一种柔性材料的双面曝光方法,其特征在于包含以下步骤:
(1)带状柔性材料绷紧在多个卷辊之间;
(2)在卷辊之间紧绷的带状柔性材料,其两侧面的上方均设置有曝光装置;
(3)卷辊转动带动带状柔性材料运动,运动过程中,步骤(2)中所述的曝光装置对带状柔性材料进行曝光,采用多个曝光点相连的方式来完全覆盖带状柔性材料的宽度方向。
优选的,上述曝光装置始终与带状柔性材料的表面保持固定距离。
本发明还提供了一种柔性材料双面曝光装置,其技术方案如下:一种柔性材料双面曝光装置,包括曝光装置,所述的曝光装置由光学系统、扫描平台、光源系统、通讯模块、计算机、数据处理模块组成;光学系统和光源系统安装在扫描平台上,所述的光学系统和光源系统多组连续安装并且完全覆盖扫描平台的宽度方向;计算机与通讯模块、扫描平台、数据处理模块分别相连接;所述的光源系统与通讯模块相连接;所述的光学系统与通讯模块相连接;所述的光学系统由数字微镜装置、成像系统组成;还包括卷辊、驱动电机,驱动电机安装在卷辊上,两个卷辊之间绷紧的带状柔性材料两侧面上方分别安装一个曝光装置;所述的成像系统上还安装有一个主动聚焦模块。
本发明的技术效果在于:由于柔性材料可以卷曲,使用卷辊将柔性材料卷取后绷紧,两个卷辊之间绷紧的柔性材料可以提供一个稳定的曝光平面,在这个稳定的曝光平面的两边分别安置一个曝光装置,卷辊转动带动柔性材料前行,柔性材料的前行过程中,曝光设备工作,可以连续不断地对柔性材料的上下表面进行曝光操作。曝光设备的光学系统上安装有一个主动聚焦模块,可以保证曝光头和柔性材料的表面等距,确保曝光质量。本发明相对于现有技术,能够大幅提高柔性材料的曝光效率。
附图说明:
图1为发明的结构示意框图;
图2为本发明的立体结构示意图。
具体实施方式:
以下结合附图对本发明的具体实施方式进行详细说明。参照附图1和附图2,本发明的具体实施方式如下:
(1)首选将带状柔性材料绷紧在卷辊100之间;
(2)将曝光装置300分别安装在步骤(1)中提到的带状柔性材料的两侧面上方。参照附图2,曝光装置300的扫描平台320上安装有多个光源系统330和多个光学系统310。这些光学系统310完全覆盖了带状柔性材料的宽度方向。参照附图1,曝光装置300还包括通讯模块340、计算机350、数据处理模块360;计算机350与通讯模块340、扫描平台320、数据处理模块360分别相连接;光源系统330与通讯模块340相连接;光学系统310与通讯模块340相连接;光学系统310由数字微镜装置311、成像系统312组成,成像系统312上还安装有一个主动聚焦模块313。主动聚焦模块313可以确保曝光装置300与带状柔性材料的表面等距;
(3)驱动电机200驱动卷辊100,卷辊100转动带动带状柔性材料向前匀速行进;计算机350还和驱动电机200相连接,此时计算机350控制扫描平台320上的光学系统310工作,并同时控制驱动电机200保持合适的匀速;带状柔性材料在多个光学系统310完全覆盖的情况下匀速前行,前行的同时完成带状柔性材料正反面的连续曝光。
应当理解的是,上述具体实施方式仅用于说明和解释本发明,并不用于限制本发明。所有基于本发明原理得出的实施例均在本发明的保护范围之内。
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