[实用新型]一种机械手臂

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体技术领域，尤其涉及一种应用于从货架(Stocker)上取放光罩盒的机械手臂。

背景技术

目前，主要是通过目测来检测机械手臂对光罩盒的放置是否正常，因此机械手臂在取放光罩盒的过程中可能会发生以下情况，第一种情况是机械手臂碰撞光罩盒，即机械手臂没有把光罩盒放好卡住，光罩盒随同手臂缩回，并在取另外一块光罩盒时发生碰撞，导致光罩受损；第二种情况是机械手臂将光罩盒从货架拽出掉下，即由于异物使放在货架上的光罩盒顶起，导致机械手臂缩回时带出光罩盒，导致光罩盒掉下受损，这些都是本领域技术人员所不期望见到的。

实用新型内容

针对上述存在的问题，本实用新型公开了一种机械手臂，其中，包括：手臂总成、双向气缸、第一手臂和第二手臂；

所述双向气缸安装在所述手臂总成上，所述第一手臂通过连接杆连接所述双向气缸的一端，所述第二手臂通过连接杆连接所述双向气缸的另一端；

其中，所述第一手臂和所述第二手臂上均设置有活动销、第一弹簧、挡片和光线传感器，所述挡片通过所述第一弹簧与所述活动销连接，所述活动销临近所述第一手臂和所述第二手臂的内侧设置，以在所述机械手臂取物体时，所述活动销受力移动，进而带动所述挡片移动至所述光线传感器的发送端和接收端之间阻断光线通路，使所述光线传感器发出指示信号。

上述的机械手臂，其中，所述双向气缸设置有第二弹簧和电磁阀，通过所述电磁阀的供气和排气控制所述第二弹簧的拉伸运动或复位运动。

上述的机械手臂，其中，所述双向气缸上设置有位置传感器，以检测所述第二弹簧拉伸运动和复位运动是否到达设定位置。

上述的机械手臂，其中，所述机械手臂与一控制器总成连接，所述控制器总成控制所述光线传感器、所述位置传感器和所述电磁阀。

上述的机械手臂，其中，所述光线传感器、所述位置传感器均与不同的指示灯连接。

上述的机械手臂，其中，所述机械手臂应用于取放光罩盒。

上述的机械手臂，其中，所述光罩盒上设置有三角形凹槽，所述活动销为与所述三角形凹槽相匹配的三角形活动销。

上述的机械手臂，其中，所述第一手臂、第二手臂、所述手臂总成，所述活动销、所述连接杆和所述挡片的材质均为铝合金。

上述的机械手臂，其中，所述挡片在所述机械手臂开合方向上移动的距离为4～6mm。

上述的机械手臂，其中，所述活动销的高度为8～12mm。

上述实用新型具有如下优点或者有益效果：

本实用新型公开了一种机械手臂，应用于从货架上取放光罩盒的机械手臂，通过设置双向气缸使得第一手臂和第二手臂之间的距离伸长和缩短，以利于取放光罩盒，并于双向气缸上设置位置传感器，于第一手臂和第二手臂上设置活动销、挡片和光线传感器，以在机械手臂取放光罩盒时位置传感器和光线传感器发出指示信号，从而可以及时发现取放动作异常，停止机械手臂异常动作，避免光罩盒受损，进而提高机台稳定性和可靠性，减少宕机现象。

附图说明

通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本实用新型及其特征、外形和优点将会变得更加明显。在全部附图中相同的标记指示相同的部分。并未可以按照比例绘制附图，重点在于示出本实用新型的主旨。

图1是本实用新型实施例中机械手臂的俯视图；

图2是本实用新型实施例中机械手臂的侧视图；

图3是本实用新型实施例中机械手臂伸进货架取光罩盒的结构示意图；

图4是本实用新型实施例中机械手臂将光罩盒从货架上取出的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和具体的实施例对本实用新型作进一步的说明，但是不作为本实用新型的限定。