[实用新型]一种图形电镀测试单元有效
| 申请号： | 201621252358.4 | 申请日： | 2016-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN206300604U | 公开（公告）日： | 2017-07-04 |
| 发明（设计）人： | 李江;胡志杨;徐文中;潘捷 | 申请（专利权）人： | 江门崇达电路技术有限公司 |
| 主分类号： | G01B7/06 | 分类号： | G01B7/06 |
| 代理公司： | 深圳市精英专利事务所44242 | 代理人： | 龙丹丹 |
| 地址： | 529000 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 图形 电镀 测试 单元 | ||
【权利要求书】：
1.一种图形电镀测试单元，其特征在于，包括一测试板，所述测试板上分布有有效单元区和切片测试区，所述有效单元区内设置有线路层或铜面层，所述切片测试区内及切片测试区周边设置有与所述有效单元区相似的线路层或铜面层。
2.根据权利要求1所述的图形电镀测试单元，其特征在于，所述有效单元区和所述切片测试区设置有金属化孔。
3.根据权利要求2所述的图形电镀测试单元，其特征在于，所述切片测试区中所述金属化孔为6个，其中三个孔径为1mm的大孔、另外三个孔径为0.15mm-0.95mm的小孔。
4.根据权利要求3所述的图形电镀测试单元，其特征在于，三个所述大孔呈直线型排列，相邻所述大孔之间的间距为2.0-2.5mm。
5.根据权利要求4所述的图形电镀测试单元，其特征在于，三个所述小孔呈直线型排列，相邻所述小孔之间的间距为2.0-2.5mm。
6.根据权利要求5所述的图形电镀测试单元，其特征在于，所述测试板的厚径比不大于8。
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