[实用新型]微调系统以及空间光调制器微调系统有效
| 申请号： | 201621282433.1 | 申请日： | 2016-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN206292530U | 公开（公告）日： | 2017-06-30 |
| 发明（设计）人： | 曹宁飞 | 申请（专利权）人： | 天津津芯微电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙)11371 | 代理人： | 马维丽 |
| 地址： | 300457 天津市滨海新区天津经济技术开发区黄海路1*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 微调 系统 以及 空间 调制器 | ||
1.一种微调系统，其特征在于，包括：直线滑台装置、测角仪滑台装置与微调设备；
所述直线滑台装置根据沿纵轴方向的运行幅度调节所述微调设备的位置；
所述测角仪滑台装置根据相对于所述纵轴方向垂直的水平面，通过沿所述纵轴转动角度调节所述微调设备的位置。
2.根据权利要求1所述的微调系统，其特征在于，所述直线滑台装置包括直线型轨道与第一螺旋测微器；
所述直线型轨道通过固定直线轨迹控制所述微调设备的微调方向；
所述第一螺旋测微器通过螺旋副传动测量所述微调设备沿直线的微调幅度。
3.根据权利要求1所述的微调系统，其特征在于，所述直线滑台装置的微调幅度范围为正负15毫米。
4.根据权利要求1-3任一项所述的微调系统，其特征在于，所述测角仪滑台装置包括曲线型轨道与第二螺旋测微器；
所述曲线型轨道通过固定圆弧轨迹控制所述微调设备的微调方向；
所述第二螺旋测微器通过螺旋副传动测量所述微调设备沿圆弧的微调角度。
5.根据权利要求4所述的微调系统，其特征在于，所述测角仪滑台装置的所述微调角度范围为正负5度。
6.一种空间光调制器微调系统，其特征在于，包括：直线滑台装置、测角仪滑台装置与空间光调制器；
所述直线滑台装置根据沿纵轴方向的运行幅度调节所述空间光调制器的位置；
所述测角仪滑台装置根据相对于所述纵轴方向垂直的水平面，通过沿所述纵轴转动角度调节所述空间光调制器的位置。
7.根据权利要求6所述的空间光调制器微调系统，其特征在于，所述直线滑台装置包括直线型轨道与第一螺旋测微器；
所述直线型轨道通过固定直线轨迹控制所述空间光调制器的微调方向；
所述第一螺旋测微器通过螺旋副传动测量所述空间光调制器沿直线的微调幅度。
8.根据权利要求6所述的空间光调制器微调系统，其特征在于，所述直线滑台装置的微调幅度范围为正负15毫米。
9.根据权利要求6-8任一项所述的空间光调制器微调系统，其特征在于，所述测角仪滑台装置包括曲线型轨道与第二螺旋测微器；
所述曲线型轨道通过固定圆弧轨迹控制所述空间光调制器的微调方向；
所述第二螺旋测微器通过螺旋副传动测量所述空间光调制器沿圆弧的微调角度。
10.根据权利要求9所述的空间光调制器微调系统，其特征在于，所述测角仪滑台装置的所述微调角度范围为正负1度。
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