[实用新型]一种高效型硅片清洗机有效
| 申请号： | 201621286576.X | 申请日： | 2016-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN206356307U | 公开（公告）日： | 2017-07-28 |
| 发明（设计）人： | 凌晓国;岳旭;余传江 | 申请（专利权）人： | 浙江钱江明士达光电科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/10 | 分类号： | B08B3/10;B08B13/00 |
| 代理公司： | 嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙)33253 | 代理人： | 李伊飏 |
| 地址： | 314000 浙江省嘉兴市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 高效 硅片 清洗 | ||
【权利要求书】：
1.一种高效型硅片清洗机，其特征在于：包括载物台，所述载物台上设置有清洗槽，所述清洗槽内安装有支架，所述支架上安装有振动板，所述振动板上设有搁置网，所述搁置网截面呈波浪状，所述搁置网上还设置有隔板，所述隔板为拼接式隔板并且隔板为镂空结构，硅片放置在隔板内的搁置网上；所述清洗槽内设置有超声波发生器，清洗槽底部设有出水管，清洗槽顶部设有进水管。
2.根据权利要求1所述的高效型硅片清洗机，其特征在于：所述清洗槽内设有温度传感器和加热管，所述温度传感器和加热管分别与设置在清洗槽外侧的控制器连接。
3.根据权利要求1所述的高效型硅片清洗机，其特征在于：所述清洗槽内设置有PH检测装置。
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