[实用新型]一种高效型硅片清洗机

说明书

技术领域

本实用新型涉及硅片清洗领域，具体涉及一种高效型硅片清洗机。

背景技术

现有的清洗装置一般需要将硅片插入承载花篮内，硅片与花篮接触的部位难以清洗干净，使得洗完的硅片表面上留有污斑，造成硅片局部清洗不干净的现象，从而影响硅片的质量。清洗槽都是碱性环境，需要将PH值保持在一定范围内，而现有技术中都是通过人工经验对PH值进行调整，操作复杂且不够精确。所以，一般的清洗装置的清洗效果比较差，而且清洗效率低。

发明内容

本实用新型的目的是提供一种高效型硅片清洗机，清洗效果好、清洗效率高，并且能够减少清洗过程中硅片的划伤现象。

为解决上述技术问题，本实用新型的目的是这样实现的：

一种高效型硅片清洗机，包括载物台，所述载物台上设置有清洗槽，所述清洗槽内安装有支架，所述支架上安装有振动板，所述振动板上设有搁置网，所述搁置网截面呈波浪状，所述搁置网上还设置有隔板，所述隔板为拼接式隔板并且隔板为镂空结构，硅片放置在隔板内的搁置网上；所述清洗槽内设置有超声波发生器，清洗槽底部设有出水管，清洗槽顶部设有进水管。

在上述方案的基础上并作为上述方案的优选方案：所述清洗槽内设有温度传感器和加热管，所述温度传感器和加热管分别与设置在清洗槽外侧的控制器连接。

在上述方案的基础上并作为上述方案的优选方案：所述清洗槽内设置有PH检测装置。

本实用新型的有益效果是：本实用新型采用截面为波浪形的搁置网，能够减少与硅片的接触面积，并且搁置网与振动板连接，工作时能够使硅片脱离搁置板表面，能够使硅片得到全面的清洗，并且隔板的设置能够避免硅片与硅片之间的划伤，同时隔板采用拼接式隔板，可进行拼接组合，能够适应不同大小的硅片。本实用新型结构简单，使用方便，清洗效果好、清洗效率高。

附图说明

图1是本实用新型的示意图。

图2是隔板的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型进一步说明。

如图1和图2所示，一种高效型硅片清洗机，包括载物台1，所述载物台1上设置有清洗槽2，所述清洗槽内安装有支架3，所述支架3上安装有振动板4，所述振动板4上设有搁置网5，所述搁置网5截面呈波浪状，截面为波浪形的搁置网5能够减少与硅片的接触面积，并且搁置网5与振动板4连接，工作时能够使硅片脱离搁置板表面，能够使硅片得到全面的清洗，所述搁置网5上还设置有隔板6，所述隔板6为拼接式隔板并且隔板为镂空结构，镂空结构不会对超声波进行阻挡，保障了清洗的效果。硅片放置在隔板6内的搁置网5上，隔板6的设置能够避免硅片与硅片之间的划伤，同时隔板采用拼接式隔板，可进行拼接组合，能够适应不同大小的硅片。所述清洗槽内设置有超声波发生器7，清洗槽底部设有出水管8，清洗槽顶部设有进水管9。所述清洗槽内设有温度传感器10和加热管11，所述温度传感器10和加热管11分别与设置在清洗槽外侧的控制器12连接，温度传感器10能够对清洗槽内的清洗液的温度进行监测并显示，当清洗液的温度低于设定值时，控制器12控制加热管11加热，由此保证清洗液在适宜的温度，进一步改善了清洗效果。所述清洗槽内设置有PH检测装置13，能够使工人直观地看到清洗槽内清洗液的PH，及时进行调整，进一步保证了清洗的效果。

以上详细描述了本实用新型的较佳具体实施例。应当理解，本领域的普通技术人员无需创造性劳动就可以根据本实用新型的构思做出诸多修改和变化。因此，凡本技术领域中技术人员依本实用新型的构思在现有技术的基础上通过逻辑分析、推理或者有限的实验可以得到的技术方案，皆应在由权利要求书所确定的保护范围内。