[实用新型]粗动台防转装置和粗动台组件有效

专利信息
申请号: 201621295995.X 申请日: 2016-11-29
公开(公告)号: CN207051661U 公开(公告)日: 2018-02-27
发明(设计)人: 丛国栋;李志龙;方洁 申请(专利权)人: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 代理人: 屈蘅,李时云
地址: 201203 上*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 粗动台防转 装置 粗动台 组件
【权利要求书】:

1.一种粗动台防转装置,其特征在于,包括:设置在线缆台上的防撞臂、与粗动台固接的连接框架以及缓冲单元,其中,所述线缆台设置在所述粗动台一侧,所述连接框架围绕在所述防撞臂的外围,所述缓冲单元设置在所述连接框架上,并呈三点围绕布置在所述防撞臂外围。

2.如权利要求1所述的粗动台防转装置,其特征在于,所述防撞臂呈三角外形。

3.如权利要求1所述的粗动台防转装置,其特征在于,所述连接框架和缓冲单元分别设置有两组。

4.如权利要求1所述的粗动台防转装置,其特征在于,所述缓冲单元采用阻尼轴承或弹簧柱塞。

5.如权利要求4所述的粗动台防转装置,其特征在于,所述阻尼轴承上外敷有缓冲层。

6.如权利要求1所述的粗动台防转装置,其特征在于,还包括X向位置传感器,所述X向位置传感器包括沿X向设置在所述防撞臂内侧的光栅尺和设置在所述粗动台上位置与所述光栅尺对应的光栅尺读头。

7.如权利要求1所述的粗动台防转装置,其特征在于,还包括RX向位置传感器、RY向位置传感器和Z向位置传感器,该RX向位置传感器、RY向位置传感器和Z向位置传感器呈三角形布置在所述连接框架上,位置与防撞臂对应。

8.如权利要求7所述的粗动台防转装置,其特征在于,所述RX、RY、Z向位置传感器均采用电涡流位置传感器。

9.如权利要求1所述的粗动台防转装置,其特征在于还包括RZ向位置传感器和Y向位置传感器,所述RZ向位置传感器和Y向位置传感器沿水平向布置在所述粗动台的一侧,位置与所述防撞臂对应。

10.如权利要求9所述的粗动台防转装置,其特征在于,所述RZ向位置传感器和Y向位置传感器均采用电涡流位置传感器。

11.如权利要求1所述的粗动台防转装置,其特征在于,所述防撞臂两端设置有机械限位。

12.一种粗动台组件,包括:粗动台、设置在所述粗动台一侧的线缆台、 设置于线缆台上的线缆、设置在所述粗动台下方的粗动台磁钢阵列以及设置在所述线缆台下方的线缆台磁钢阵列,其特征在于,还包括如权利要求1~11中任意一项所述的粗动台防转装置。

13.如权利要求12所述的粗动台组件,其特征在于,所述粗动台磁钢阵列和线缆台磁钢阵列由磁钢阵列框架固定。

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