[实用新型]粗动台防转装置和粗动台组件

说明书

技术领域

本实用新型涉及光刻机领域，特别涉及一种粗动台防转装置和粗动台组件。

背景技术

磁浮双工件台光刻机是在一套光刻系统里设置两个硅片台，它们通过磁场悬浮在磁钢阵列上，并与磁钢阵列保持毫米级间隙，两硅片台分别位于曝光位置和测量位置，独立且同时运行：当其中一硅片台在曝光位置进行步进扫描曝光时，另一硅片台在测量位置完成硅片的上下片、硅片三维形貌测量(map)等准备工作，当位于曝光位的硅片台完成整个硅片的曝光后，两硅片台交换位置和职能，如此循环往复完成硅片的高效曝光。

粗动台在磁钢阵列上运动时需限制其各自由度范围，以防失控发生碰撞，同时还要对其位置进行检测。现有防转装置是在线缆台上设置单根防撞臂，并通过将与粗动台相连的两个限位块置于防撞臂滑槽内，以实现对粗动台各自由度的限制，但在防撞臂与限位块发生碰撞时，单根防撞臂刚性不足，难以承受较大的旋转力；同时现有粗动台的粗动平面电机设置在微动台下方，造成粗动台重心与粗动平面电机发力中心偏移，致使线缆台侧粗动平面电机出力较大，寿命下降，也给控制造成难度；同时现有粗动台通过设置在粗动台底部的电涡流传感器实现对粗动台Z向、R_X向、R_Y向行程的检测，但电涡流传感器的检测基准为平衡质量磁钢阵列，面型较差且易变形，这给工件台初始化测校以及粗动台Z向、R_X向、R_Y向行程的检测带来困难。

实用新型内容

本实用新型提供一种粗动台防转装置和粗动台组件，从而将粗动台的各自由度限制在安全范围内，同时提高粗动台的控制精度。

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种粗动台防转装置，包括：设置 在线缆台上的防撞臂、与粗动台固接的连接框架以及缓冲单元，其中，所述连接框架围绕在所述防撞臂的外围，所述缓冲单元设置在所述连接框架上，并呈三点围绕布置在所述防撞臂外围。

作为优选，所述防撞臂呈三角外形。

作为优选，所述连接框架和缓冲单元分别设置有两组。

作为优选，所述缓冲单元采用阻尼轴承或弹簧柱塞。

作为优选，所述阻尼轴承上外敷有缓冲层。

作为优选，还包括X向位置传感器，所述X向位置传感器包括沿X向设置在所述防撞臂内侧的光栅尺和设置在所述粗动台上位置与所述光栅尺对应的光栅尺读头。

作为优选，还包括R_X向位置传感器、R_Y向位置传感器、Z向位置传感器，该R_X向位置传感器、R_Y向位置传感器、Z向位置传感器呈三角形布置在所述连接框架上，位置与防撞臂对应。

作为优选，所述R_X向位置传感器、R_Y向位置传感器、Z向位置传感器均采用电涡流位置传感器。

作为优选，还包括R_Z向位置传感器和Y向位置传感器，所述R_Z向位置传感器和Y向位置传感器沿水平向布置在所述粗动台的一侧，位置与所述防撞臂对应。

作为优选，所述R_Y向位置传感器和Z向位置传感器均采用电涡流位置传感器。

作为优选，所述防撞臂两端设置有机械限位。

本实用新型还提供一种粗动台组件，包括：粗动台、设置在所述粗动台一侧的线缆台、设置于线缆台上的线缆、设置在所述粗动台下方的粗动台磁钢阵列以及设置在所述线缆台下方的线缆台磁钢阵列，还包括所述的粗动台防转装置。

作为优选，所述粗动台磁钢阵列和线缆台磁钢阵列由磁钢阵列框架固定。

与现有技术相比，本实用新型具有以下优点：通过设置防撞臂和连接框架，两者配合将粗动台各自由度限制在安全范围内，并设置缓冲单元，在粗动台异常运动与防转装置发生碰撞时起到缓冲减摩作用，同时通过将测量基准转移到 面型更加稳定精确的防撞臂上，可对粗动台位置进行更精确的检测，方便工件台初始化测校和双台交换时的零位对准。

附图说明

图1为本实用新型实施例1中粗动台组件的结构示意图；

图2为图1中的A1面视图；

图3为本实用新型实施例2中粗动台组件的结构示意图；

图4为图3中的A2面视图；

图5为本实用新型实施例3中粗动台组件的结构示意图。