[实用新型]蓝宝石基板研磨装置有效
| 申请号： | 201621311220.7 | 申请日： | 2016-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN206230368U | 公开（公告）日： | 2017-06-09 |
| 发明（设计）人： | 苗泽明;黄朝辉;林岳明 | 申请（专利权）人： | 苏州爱彼光电材料有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/10 | 分类号： | B24B37/10;B24B37/34 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司44224 | 代理人： | 唐清凯 |
| 地址： | 215215 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 蓝宝石 研磨 装置 | ||
1.一种蓝宝石基板研磨装置，其特征在于，包括：
机架，具有转轴；
设置于所述机架上的研磨台，具有研磨面，所述研磨面用于对位于所述研磨台上的蓝宝石基板研磨；
均匀分布于所述研磨面上的凹槽；
填充于所述凹槽内的填充物，所述填充物的填充高度低于所述凹槽的深度。
2.根据权利要求1所述的蓝宝石基板研磨装置，其特征在于，所述填充物在所述凹槽内的高度与凹槽的深度差为0.2-0.4mm。
3.根据权利要求2所述的蓝宝石基板研磨装置，其特征在于，所述凹槽的深度范围为3.5mm。
4.根据权利要求2所述的蓝宝石基板研磨装置，其特征在于，所述填充于所述凹槽内的填充物的高度范围为3.1-3.3mm。
5.根据权利要求1所述的蓝宝石基板研磨装置，其特征在于，所述凹槽呈螺旋形分布于所述研磨面上。
6.根据权利要求1所述的蓝宝石基板研磨装置，其特征在于，所述凹槽的宽度为1.5mm。
7.根据权利要求1所述的蓝宝石基板研磨装置，其特征在于，所述蓝宝石基板研磨装置还包括：
加压机构，用于加强所述研磨面对位于所述研磨面的蓝宝石基板的压力。
8.根据权利要求1所述的蓝宝石基板研磨装置，其特征在于，所述研磨台相对于所述机架的转速为0-60rpm。
9.根据权利要求1所述的蓝宝石基板研磨装置，其特征在于，所述蓝宝石基板研磨装置还包括：
位于所述研磨面上的陶瓷盘，用于带动所述蓝宝石基板相对于所述研磨面移动。
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