[实用新型]过滤环组件及现场废气处理装置

权利要求书

1.一种过滤环组件，其特征在于，所述过滤环组件包括：

过滤环，内部设有沿其长度方向贯通的第一通孔，所述过滤环为高分子细密网状结构；

膈膜环，一端与所述过滤环的一端固定连接，所述膈膜环的内部设有沿其长度方向贯通的第二通孔，且所述膈膜环的内表面及外表面均为光滑表面。

2.根据权利要求1所述的过滤环组件，其特征在于：所述过滤环的轴向中心线、所述第一通孔的轴向中心线、所述膈膜环的轴向中心线及所述第二通孔的轴向中心线均相重合。

3.根据权利要求2所述的过滤环组件，其特征在于：所述第二通孔的横向尺寸大于或等于所述第一通孔的横向尺寸。

4.根据权利要求1所述的过滤环组件，其特征在于：所述膈膜环的横向尺寸大于或等于所述过滤环的横向尺寸。

5.根据权利要求1所述的过滤环组件，其特征在于：所述膈膜环的长度小于所述过滤环的长度。

6.根据权利要求5所述的过滤环组件，其特征在于：所述膈膜环的长度为所述过滤环的长度的1/9～1/8。

7.根据权利要求1所述的过滤环组件，其特征在于：所述膈膜环为透明结构。

8.一种现场废气处理装置，适于对外延工艺的尾气进行处理，其特征在于，所述现场废气处理装置包括如权利要求1至7中任一项所述的过滤环组件。

9.根据权利要求8所述的现场废气处理装置，其特征在于：所述现场废气处理装置还包括：

排气装置，一端与外延工艺腔室相连接，另一端与所述过滤环远离所述膈膜环的一端相连接，适于将外延工艺的尾气排至所述过滤环；

稀释气体供给装置，位于所述过滤环的外侧，适于提供稀释气体以将排至所述过滤环内的尾气进行稀释；

喷淋装置，位于所述膈膜环远离所述过滤环的一端，适于向所述膈膜环的所述第二通孔内喷淋水以回收部分与水反应的废气。