[实用新型]过滤环组件及现场废气处理装置

说明书

技术领域

本实用新型属于废气处理设备技术领域，特别是涉及一种过滤环组件及现场废气处理装置。

背景技术

在EPI(Epitaxy，外延)工艺中会对大量使用H₂和TCS(Trichlorosilane，三氯硅烷)，但这两种气体与空气接触有爆炸的风险，因此在EPI的工艺尾气处理装置中会有特殊设计的装置来避免爆炸的发生，过滤环即是避免爆炸发生的特殊设计装置之一。

如图1所示，过滤环11的内部设有沿所述过滤环1的长度方向贯通的通孔111；所述过滤环11的材质是一种高分子材料，内部为细密网状结构，具有良好的气体通过性。现场废气处理装置(Local Scrubber)正是利用了过滤环材质的特性让N₂均匀的通过过滤环与H₂及TCS均匀的混合，以避免爆炸的发生。

但由于在尾气的处理过程中，会在过滤环的尾部喷洒水以吸附尾气中的TCS，TCS遇水水解的方程式如下：

SiHCl₃+3H₂O＝H₂SiO₃+3HCl+H₂

硅酸遇热分解的方程式如下：

H₂SiO₃＝SiO₂+H₂O

在TCS水解的产物硅酸遇热后会分解形成SiO₂，SiO₂会附着在过滤环的表面，从而导致过滤环的堵塞。

实用新型内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种过滤环组件及现场废气处理装置，用于解决现有技术中由于TCS与水反应的产物会附着在过滤环的表面，从而导致过滤环堵塞的问题。

为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种过滤环组件，所述过滤环组件包括：

过滤环，内部设有沿其长度方向贯通的第一通孔，所述过滤环为高分子细密网状结构；

膈膜环，一端与所述过滤环的一端固定连接，所述膈膜环的内部设有沿其长度方向贯通的第二通孔，且所述膈膜环的内表面及外表面均为光滑表面。

作为本实用新型的过滤环组件的一种优选方案，所述过滤环的轴向中心线、所述第一通孔的轴向中心线、所述膈膜环的轴向中心线及所述第二通孔的轴向中心线均相重合。

作为本实用新型的过滤环组件的一种优选方案，所述第二通孔的横向尺寸大于或等于所述第一通孔的横向尺寸。

作为本实用新型的过滤环组件的一种优选方案，所述膈膜环的横向尺寸大于或等于所述过滤环的横向尺寸。

作为本实用新型的过滤环组件的一种优选方案，所述膈膜环的长度小于所述过滤环的长度。

作为本实用新型的过滤环组件的一种优选方案，所述膈膜环的长度为所述过滤环的长度的1/9～1/8。

作为本实用新型的过滤环组件的一种优选方案，所述膈膜环为透明结构。

本实用新型还提供一种现场废气处理装置，适于对外延工艺的尾气进行处理，所述现场废气处理装置包括如上述任一方案中所述的过滤环组件。

作为本实用新型的现场废气处理装置的一种优选方案，所述现场废气处理装置还包括：

排气装置，一端与外延工艺腔室相连接，另一端与所述过滤环远离所述膈膜环的一端相连接，适于将外延工艺的尾气排至所述过滤环；

稀释气体供给装置，位于所述过滤环的外侧，适于提供稀释气体以将排至所述过滤环内的尾气进行稀释；

喷淋装置，位于所述膈膜环远离所述过滤环的一端，适于向所述膈膜环的所述第二通孔内喷淋水以回收部分与水反应的废气。

如上所述，本实用新型的过滤环组件及现场废气处理装置，本实用新型的有益效果为：通过增设内外表面均为光滑表面的膈膜环，用于回收废气中与水反应的废气的喷淋装置会被移至膈膜环的底部，废气与水的反应产物不会在过滤环处形成，不会附着于过滤环的表面，从而防止了过滤环的堵塞；又由于膈膜环的表面为光滑表面，废气与水的反应产物不易在膈膜环的表面附着，或附着于膈膜环的表面后很容易被冲刷掉，从而防止了膈膜环的堵塞；进而延长了所述过滤环组件的使用周期，减少保养次数，增加安全可靠度。

附图说明

图1为现有技术中的过滤环的结构示意图。

图2显示为本实用新型实施例一中提供的过滤环组件的结构示意图。

元件标号说明

11过滤环

111 通孔