[实用新型]空气静压导轨有效
申请号: | 201621322836.4 | 申请日: | 2016-12-05 |
公开(公告)号: | CN206241645U | 公开(公告)日: | 2017-06-13 |
发明(设计)人: | 徐刚;舒行军;肖永华;郑越青;蓝河;张连新 | 申请(专利权)人: | 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 |
主分类号: | B23Q1/01 | 分类号: | B23Q1/01 |
代理公司: | 北京远大卓悦知识产权代理事务所(普通合伙)11369 | 代理人: | 郑健 |
地址: | 621999 四*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 空气 静压 导轨 | ||
1.一种空气静压导轨,包括导轨和滑行在导轨内的滑台,其特征在于,
所述滑台两侧均设置有与导轨轨道平行的上进气通道以及下进气通道;
所述上进气通道上垂直连通有用于通气时在滑台和导轨间形成气膜的上节流孔和侧节流孔;所述下进气通道上连通有用于通气时滑台在垂直方向上处于静压气浮状态的下节流孔。
2.如权利要求1所述的空气静压导轨,其特征在于,所述导轨包括基体以及设置在基体上的侧导轨和上导轨。
3.如权利要求1所述的空气静压导轨,其特征在于,所述上节流孔为沿上进气通道均匀分布的多个上节流孔,其间距不大于50微米,所述侧节流孔为沿上进气通道均匀分布的多个侧节流,其间距不大于50微米。
4.如权利要求1所述的空气静压导轨,其特征在于,所述下节流孔为沿下进气通道均匀分布的多个下节流孔,其间距不大于50微米。
5.如权利要求1所述的空气静压导轨,其特征在于,所述上进气通道的直径是上节流孔直径的10倍以上,所述上进气通道的直径是侧节流孔直径的10倍以上。
6.如权利要求1所述的空气静压导轨,其特征在于,所述下进气通道的直径是下节流孔直径的10倍以上。
7.如权利要求1所述的空气静压导轨,其特征在于,所述滑台的底面上设置了一层缓冲层以及外层。
8.如权利要求1所述的空气静压导轨,其特征在于,所述上节流孔、下节流孔以及侧节流孔的长度与直径比大于10,所述上节流孔、下节流孔以及侧节流孔的直径不大于10微米。
9.如权利要求1所述的空气静压导轨,其特征在于,所述导轨设置有一层耐高压气体冲击的耐冲击外层,所述导轨与滑台之间的距离范围为10微米-20微米。
10.如权利要求1所述的空气静压导轨,其特征在于,所述上节流孔包括与上进气通道连通的第一上节流孔以及与第一上节流孔连通的第二上节流孔,所述第一上节流孔的直径大于第二上节流孔的直径;所述侧节流孔包括与上进气通道连通的第一侧节流孔以及与第一侧节流孔连通的第二侧节流孔,所述第一侧节流孔的直径大于第二上侧流孔的直径;所述下节流孔包括与下进气通道连通的第一下节流孔以及与第一下节流孔连通的第二下节流孔,所述第一下节流孔的直径大于第二下节流孔的直径。
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