[实用新型]一种材料辐射致放气的在线测试装置

权利要求书

1.一种材料辐射致放气的在线测试装置，所述装置包括：真空腔室系统、辐射腔室系统、抽气系统、供气系统、检测组件和数控采集单元,其中,

所述真空腔室系统包括一个真空腔室(1),所述真空腔室(1)内部放置待测样品(3)；

所述辐射腔室系统与所述真空腔室系统通过法兰窗口(4)相连；

所述抽气系统与所述真空腔室系统相连；

所述供气系统与所述真空腔室系统相连，向所述真空腔室(1)通入各类气体；

所述检测组件包括真空规(19)和质谱仪(20)；

所述数控采集单元用于控制真空泵组、辐射源(6)和检测组件的开关，在线实时采集真空数据，对所采集的数据进行保存和计算。

2.根据权利要求1所述的一种材料辐射致放气的在线测试装置，其特征在于，

所述真空腔室系统包括：真空腔室(1)、样品台(2)、样品(3)和法兰窗口(4),样品台(2)固定在真空腔室(1)的一侧，而非抽气口上方，样品(3)放置在样品台(2)上，法兰窗口(4)在真空腔室(1)上。

3.根据权利要求1所述的一种材料辐射致放气的在线测试装置，其特征在于，所述辐射腔室系统包括：辐射腔室(5)、辐射源(6)和辐射流(7),辐射源(6)置于辐射腔室(5)中，为光、热或电子束辐射，辐射流(7)透过法兰窗口(4)辐射到样品(3)上。

4.根据权利要求1所述的一种材料辐射致放气的在线测试装置，其特征在于，所述抽气系统包括：干式机械泵(8)、磁悬浮分子泵(9)、限流小孔(10)、第一角阀(11)、插板阀(12)和第二角阀(13),其中干式机械泵(8)和第二角阀(13)组成第一抽气通道，用于真空腔室(1)的粗抽；干式机械泵(8)、磁悬浮分子泵(9)和插板阀(12)组成第二抽气通道，用于真空腔室(1)的精抽；干式机械泵(8)、磁悬浮分子泵(9)、限流小孔(10)和第一角阀(11)组成第三抽气通道，用于样品辐射致放气测试。

5.根据权利要求1所述的一种材料辐射致放气的在线测试装置，其特征在于，所述供气系统包括：气源(14)、第一截止阀(15)、微调阀(16)、第二截止阀(17)和气体流量控制器(18)，其中气源(14)、第一截止阀(15)和微调阀(16)组成第一供气通道，使真空腔室(1)形成动态稳定气流；气源(14)、第一截止阀(15)和第二截止阀(17)组成第二供气通道，用于向真空腔室(1)充入保护气体；气源(14)、第一截止阀(15)和气体流量控制器(18)组成第三供气通道，用于向真空腔室(1)中充入流量已知且可控的气流；气体流量控制器(18)经过精确校准。

6.根据权利要求1-5中任一项所述的一种材料辐射致放气的在线测试装置，其特征在于，所述检测组件包括：真空规(19)、质谱仪(20)、第三角阀(21)和第四角阀(22)；真空规(19)经过精确校准，通过第三角阀(21)连接到真空腔室(1)上；质谱仪(20)通过第四角阀(22)连接到真空腔室(1)上。