[实用新型]一种外延工艺的尾气处理器

权利要求书

1.一种外延工艺的尾气处理器，其特征在于，包括储水箱(10)、与所述储水箱(10)连通用于吸收废气的射流喷淋塔(1)，以及与所述射流喷淋塔(1)的排气口连接的负压发生器(23)，所述负压发生器(23)之前相通的区域形成负压腔(25)，所述负压发生器(23)之后相通的区域形成常压腔(26)，所述储水箱(10)上设置有通入持续水流的进水口(19)，所述负压腔(25)与所述常压腔(26)的液体连通；还包括处于常压状态且补液口与所述负压腔(25)的液体连通的溢流箱(8)，所述溢流箱(8)内的浑浊液体从溢流口(9)排出。

2.根据权利要求1所述的外延工艺的尾气处理器，其特征在于，所述负压发生器(23)内包括用于喷出液体并使所述喷出液体与所述排气口的尾气汇合后喷入所述常压腔(26)的射流器，所述常压腔(26)开设有将气液分离后的净化气体排出的净化气体排出口(21)。

3.根据权利要求2所述的外延工艺的尾气处理器，其特征在于，还包括底端与所述储水箱(10)连通用于对废气进行第一次水洗溶解的进气塔(2)；

还包括连通于所述进气塔(2)和所述射流喷淋塔(1)之间用于通过分散水对酸气吸收的中间喷淋塔(5)，所述中间喷淋塔(5)的底端与所述储水箱(10)连通；

所述射流喷淋塔(1)的筒体浸入所述储水箱(10)内水面下。

4.根据权利要求3所述的外延工艺的尾气处理器，其特征在于，所述中间喷淋塔(5)和所述射流喷淋塔(1)内具有至少两层喷嘴喷淋装置(6)，每层所述喷嘴喷淋装置(6)下方设置有填料层；

所述中间喷淋塔(5)与所述中间喷淋塔(5)之间的连通管和所述中间喷淋塔(5)与所述射流喷淋塔(1)之间的连通管上均设置有水流喷嘴；

所述中间喷淋塔(5)和所述射流喷淋塔(1)的侧壁安装有观察检修口。

5.根据权利要求4所述的外延工艺的尾气处理器，其特征在于，所述进气塔(2)的顶端设置有进气筒，所述进气筒开设有尾气进气口(4)和保护气体进气口(24)；

所述进气筒的顶端安装有与其轴向相同的转动轴，所述转动轴上固定有能够去除所述进气筒内壁粘附结晶物的刮板(3)，所述刮板(3)与所述进气筒的内壁之间具有缝隙。

6.根据权利要求5所述的外延工艺的尾气处理器，其特征在于，所述进气筒的下部连接有法兰盘，所述法兰盘的边缘与所述进气塔(2)的内壁之间具有环状间隙，所述进气塔(2)的进液口设置于所述法兰盘的上方。

7.根据权利要求6所述的外延工艺的尾气处理器，其特征在于，所述进气塔(2)的进液口、所述喷嘴喷淋装置(6)、所述水流喷嘴均与喷淋泵(15)连通，所述喷淋泵(15)的进口与所述负压腔(25)的液体连通。

8.根据权利要求1-7任一项所述的外延工艺的尾气处理器，其特征在于，所述负压腔(25)水面位置安装有用于将水面上形成的结晶漂浮物打散与水充分混合均匀的文丘里混流喷嘴(16)。

9.根据权利要求1-7任一项所述的外延工艺的尾气处理器，其特征在于，所述进水口(19)设置于所述常压腔(26)处的所述储水箱(10)上，所述溢流箱(8)内设置有溢流管，所述溢流箱(8)内的浑浊液体从所述溢流管的溢流口(9)排出；

所述溢流箱(8)的顶部设置有冲洗喷淋头(28)，所述冲洗喷淋头(28)与所述常压腔(26)的液体连通；

所述溢流箱(8)的上部设置有与大气连通的常压口。

10.根据权利要求1-7任一项所述的外延工艺的尾气处理器，其特征在于，所述负压腔(25)内安装有压力传感器(7)，所述压力传感器(7)与变频控制箱(27)连接，所述变频控制箱(27)与变频泵(14)连接，所述变频泵(14)与所述射流器连接；

所述变频控制箱(27)还与液位开关(17)连接，所述液位开关(17)位于所述负压腔(25)内且能够测量所述负压腔(25)内液体高度。