[实用新型]一种外延工艺的尾气处理器

说明书

技术领域

本实用新型涉及尾气处理设备技术领域，特别是涉及一种外延工艺的尾气处理器。

背景技术

半导体硅片制造的外延工艺外延炉EPI中会使用到大量TCS(化学式为SiHCl₃)、HCl、H₂和ppm浓度级别的PH₃或B₂H₆等气体，工艺实际反应率<20％，大量的TCS气体会被作为工艺尾气排出外延炉反应腔，这些有毒有害气体必须经过合适的尾气处理器处理达标后才能排入大气。由于TCS与水反应生成SiO₂颗粒结晶物和HCl气体等，而HCl能溶于水被有效吸收处理；加上H₂可以不做任何处理直接放空，而极微量的PH₃或B₂H₆等经过尾气处理器内H₂稀释后低于TLV值，可以直接放空，而无需专门处理。

现有技术中，采用普通的水洗式尾气洗涤塔，废气通过被水淋洗的鲍尔环等填料时被水反应吸收。

但是，在此过程中产生大量SiO₂白色结晶物，需要1-3天停机清理一次，把SiO₂白色结晶物去除干净，否则就会使填料粘结堵塞，造成尾气处理器无法工作；进气口容易被堵塞，由于水汽原因，使得在尾气进气口因为TCS与水汽反应生成的SiO₂没有被水冲洗，直接粘附在进气口内壁；耗水量大，为了把设备水箱内水面漂浮的白色结晶物去除，需要使用大量的补水和排水，把白色结晶物随排水排至排出设备；负压调节不稳定且不能随着气流变化而快速响应，常压型EPI外延炉，需要使用尾气处理系统来精确控制负压，同时满足当尾气量变化时，需要快速调节至设定负压值；目前常规的是尾气处理器后端安装一个离心风机抽负压方式，离心风机由于抽风量大，随进气量的变化而调节稳定负压的能力弱；

综上所述，如何有效地解决普通水洗式尾气洗涤塔不能较好地处理尾气的问题，是目前本领域技术人员急需解决的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种外延工艺的尾气处理器，该外延工艺的尾气处理器有效地解决普通水洗式尾气洗涤塔不能较好地处理尾气的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型提供如下技术方案：

一种外延工艺的尾气处理器，包括储水箱、与所述储水箱连通用于吸收废气的射流喷淋塔，以及与所述射流喷淋塔的排气口连接的负压发生器，所述负压发生器之前相通的区域形成负压腔，所述负压发生器之后相通的区域形成常压腔，所述储水箱上设置有通入持续水流的进水口，所述负压腔与所述常压腔的液体连通；还包括处于常压状态且补液口与所述负压腔的液体连通的溢流箱，所述溢流箱内的浑浊液体从溢流口排出。

优选地，所述负压发生器内包括用于喷出液体并使所述喷出液体与所述排气口的尾气汇合后喷入所述常压腔的射流器，所述常压腔开设有将气液分离后的净化气体排出的净化气体排出口。

优选地，还包括底端与所述储水箱连通用于对废气进行第一次水洗溶解的进气塔；

还包括连通于所述进气塔和所述射流喷淋塔之间用于通过分散水对酸气吸收的中间喷淋塔，所述中间喷淋塔的底端与所述储水箱连通；

所述射流喷淋塔的筒体浸入所述储水箱内水面下。

优选地，所述中间喷淋塔和所述射流喷淋塔内具有至少两层喷嘴喷淋装置，每层所述喷嘴喷淋装置下方设置有填料层；

所述中间喷淋塔与所述中间喷淋塔之间的连通管和所述中间喷淋塔与所述射流喷淋塔之间的连通管上均设置有水流喷嘴；

所述中间喷淋塔和所述射流喷淋塔的侧壁安装有观察检修口。

优选地，所述进气塔的顶端设置有进气筒，所述进气筒开设有尾气进气口和保护气体进气口；

所述进气筒的顶端安装有与其轴向相同的转动轴，所述转动轴上固定有能够去除所述进气筒内壁粘附结晶物的刮板，所述刮板与所述进气筒的内壁之间具有缝隙。

优选地，所述进气筒的下部连接有法兰盘，所述法兰盘的边缘与所述进气塔的内壁之间具有环状间隙，所述进气塔的进液口设置于所述法兰盘的上方。

优选地，所述进气塔的进液口、所述喷嘴喷淋装置、所述水流喷嘴均与喷淋泵连通，所述喷淋泵的进口与所述负压腔的液体连通。

优选地，所述负压腔水面位置安装有用于将水面上形成的结晶漂浮物打散与水充分混合均匀的文丘里混流喷嘴。