[实用新型]一种涂胶显影设备传送手臂有效
| 申请号： | 201621374618.5 | 申请日： | 2016-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN206293419U | 公开（公告）日： | 2017-06-30 |
| 发明（设计）人： | 俞韶兵;马剑 | 申请（专利权）人： | 上海精典电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L21/68;B25J9/08 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 顾正超 |
| 地址： | 201206 上海市浦东新区中国*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 涂胶 显影 设备 传送 手臂 | ||
【权利要求书】：
1.一种涂胶显影设备传送手臂，其特征在于，包括：
装配基座；
第一尺寸机械手臂，装设于所述装配基座上；
第二尺寸机械手臂，替换所述第一尺寸机械手臂并装设于所述装配基座上，其中所述第二尺寸机械手臂和所述第一尺寸机械手臂的承接部分中心点保持一致。
2.根据权利要求1所述的涂胶显影设备传送手臂，其特征在于，所述机械手臂包括手臂主体和承接部分，所述承接部分用于承载晶片。
3.根据权利要求2所述的涂胶显影设备传送手臂，其特征在于，所述手臂主体采用铝合金材料制成。
4.根据权利要求2所述的涂胶显影设备传送手臂，其特征在于，所述承接部分采用不锈钢材料制成。
5.根据权利要求2所述的涂胶显影设备传送手臂，其特征在于，所述承接部分包括三个承片块构成。
6.根据权利要求2所述的涂胶显影设备传送手臂，其特征在于，所述手臂主体上设置有多个螺孔，通过螺栓固定于所述装配基座。
7.根据权利要求1所述的涂胶显影设备传送手臂，其特征在于，所述第一尺寸机械手臂为8吋传送手臂，所述第二尺寸机械手臂为4吋传送手臂。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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