[实用新型]一种硅片检查台图像摄像系统

权利要求书

1.一种硅片检查台图像摄像系统，其特征在于，包括：

显微镜；

摄像头镜筒，连接于所述显微镜；

中继光学镜头，连接于所述摄像头镜筒；

摄像头，连接于所述中继光学镜头，

其中，所述摄像头镜筒包括多组光学镜片，分别卡合于所述摄像头镜筒内壁的卡槽中。

2.根据权利要求1所述的硅片检查台图像摄像系统，其特征在于，所述摄像头通过数据线连接于电脑，并通过显示器进行查看。

3.根据权利要求1所述的硅片检查台图像摄像系统，其特征在于，所述摄像头为CCD摄像头。

4.根据权利要求1所述的硅片检查台图像摄像系统，其特征在于，所述中继光学镜头的倍率采用0.35X。

5.根据权利要求1所述的硅片检查台图像摄像系统，其特征在于，所述摄像头镜筒内壁具有多组卡槽，每组卡槽在不同高度的位置分别具有固定点，将光学镜片固定于设定位置。

6.根据权利要求5所述的硅片检查台图像摄像系统，其特征在于，所述固定点为垂直于竖直卡槽的凹槽。

7.根据权利要求1所述的硅片检查台图像摄像系统，其特征在于，所述显微镜为光学显微镜。