[实用新型]一种硅片检查台图像摄像系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体集成电路制造领域，且特别涉及一种硅片检查台图像摄像系统。

背景技术

在光刻、显影、刻蚀等工艺处理之后，对硅片表面需要进行宏观(人力目测)和微观(显微镜下)缺陷检查。主要检查项目是：前一道工艺的图形是否正常、表面划痕、沾污的微小颗粒。

因为早期半导体工艺和品质检查流程比较简单，所以类似检查机型都没有配摄像系统。随着集成电路的结构越来越复杂，在一些工艺过程中产生的表面缺陷对成品的质量影响越来越大。所以，一些代工性质的半导体生产厂对大多数的产品都规定，必须拍摄每片硅片上指定的微观图像并发送至管理网络中，作为品质检查文件的一部分，以进行品质控制以及客户检查的需要。

然而旧型的检查设备常常不配置微观图像摄像系统，从而不能满足新集成电路芯片和新工艺的品质控制和成品率控制的要求。改造旧的检查设备并建立微图像摄像系统是增强功能和节约成本的必然。

实用新型内容

本实用新型提出一种硅片检查台图像摄像系统，通过改造现有系统，建立了微图像摄像系统，节约了采购新设备所需的成本。

为了达到上述目的，本实用新型提出一种硅片检查台图像摄像系统，包括：

显微镜；

摄像头镜筒，连接于所述显微镜；

中继光学镜头，连接于所述摄像头镜筒；

摄像头，连接于所述中继光学镜头，

其中，所述摄像头镜筒包括多组光学镜片，分别卡合于所述摄像头镜筒内壁的卡槽中。

进一步的，所述摄像头通过数据线连接于电脑，并通过显示器进行查看。

进一步的，所述摄像头为CCD摄像头。

进一步的，所述中继光学镜头的倍率采用0.35X。

进一步的，所述摄像头镜筒内壁具有多组卡槽，每组卡槽在不同高度的位置分别具有固定点，将光学镜片固定于设定位置。

进一步的，所述固定点为垂直于竖直卡槽的凹槽。

进一步的，所述显微镜为光学显微镜。

本实用新型提出的硅片检查台图像摄像系统，将光学显微镜上加设摄像头镜筒、中继光学镜头和摄像头的组合，将硅片表面的图片传输到电脑显示器上查看，并存储备份，通过改造现有系统，建立了微图像摄像系统，节约了采购新设备所需的成本。

附图说明

图1所示为本实用新型较佳实施例的硅片检查台图像摄像系统结构示意图。

具体实施方式

以下结合附图给出本实用新型的具体实施方式，但本实用新型不限于以下的实施方式。根据下面说明和权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率，仅用于方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。

请参考图1，图1所示为本实用新型较佳实施例的硅片检查台图像摄像系统结构示意图。本实用新型提出一种硅片检查台图像摄像系统，包括：显微镜100；摄像头镜筒200，连接于所述显微镜100；中继光学镜头300，连接于所述摄像头镜筒200；摄像头400，连接于所述中继光学镜头300，其中，所述摄像头镜筒200包括多组光学镜片，分别卡合于所述摄像头镜筒内壁的卡槽中。

根据本实用新型较佳实施例，所述摄像头400通过数据线500连接于电脑600，并通过显示器700进行查看。所述显微镜100为光学显微镜。所述摄像头400为CCD摄像头，获取数字格式的硅片表面图像，并通过数据线500传输到电脑600进行查看，保证摄制的图像格式、清晰度、视场角达到用户的技术指标。

所述中继光学镜头300的倍率采用0.35X，使得拍摄的图像视场匹配于目镜中观察到的图像，符合客户的要求。

所述摄像头镜筒内壁具有多组卡槽，每组卡槽在不同高度的位置分别具有固定点，将光学镜片固定于设定位置。所述固定点为垂直于竖直卡槽的凹槽。通过不同的光学镜片组合可以达到用户所需的放大倍数，安装时将光学镜片通过摄像头镜筒内壁的卡槽滑下，到达设定位置的固定点时，旋转所述光学镜片，将其卡合在固定点的凹槽中，然后可以按照其他光学镜片，通过两个或两个以上的光学镜片组合，达到设定的放大倍数，拆卸时只需将光学镜片旋转退出固定点的凹槽回到摄像头镜筒内壁的卡槽中，并滑出摄像头镜筒即可，安装和拆卸都十分便捷。

综上所述，本实用新型提出的硅片检查台图像摄像系统，将光学显微镜上加设摄像头镜筒、中继光学镜头和摄像头的组合，将硅片表面的图片传输到电脑显示器上查看，并存储备份，通过改造现有系统，建立了微图像摄像系统，节约了采购新设备所需的成本。

虽然本实用新型已以较佳实施例揭露如上，然其并非用以限定本实用新型。本实用新型所属技术领域中具有通常知识者，在不脱离本实用新型的精神和范围内，当可作各种的更动与润饰。因此，本实用新型的保护范围当视权利要求书所界定者为准。