[实用新型]一种用于等离子体增强化学气相沉积的进气电极板

权利要求书

1.一种用于等离子体增强化学气相沉积的进气电极板，其特征在于，包括喷淋头电极板结构、电极杆结构和安装法兰，所述电极杆结构的顶端与所述喷淋头电极板结构连接，所述电极板结构上设置有安装法兰，所述喷淋头电极板结构包括喷淋头电极板、绝缘陶瓷和喷淋头屏蔽罩，所述喷淋头屏蔽罩设置在所述喷淋头电极板的外侧，所述喷淋头电极板与所述喷淋头屏蔽罩之间设置有绝缘陶瓷，所述电极杆结构包括电极杆和电极杆屏蔽套，所述电极杆屏蔽套设置在所述电极杆的外侧，所述电极杆的底部连接有绝缘陶瓷气路接头，所述绝缘陶瓷气路接头与外部进气管连接。

2.如权利要求1所述的用于等离子体增强化学气相沉积的进气电极板，其特征在于，所述喷淋头电极板由双层不锈钢匀气腔组成，所述不锈钢匀气腔上部均匀密布直径1毫米的匀气板，所述匀气板与所述电极杆9直接连接，所述不锈钢气腔下部设置有匀气锁紧母。

3.如权利要求2所述的用于等离子体增强化学气相沉积的进气电极板，其特征在于，所述电极杆的下端设置有保护罩，所述保护罩位于所述安装法兰的底部，所述保护罩上设置有电极插座，所述电极插座通过电极引线与所述电极杆连接，所述电极杆通过所述电极插座与外部的射频电源连接。

4.如权利要求3所述的用于等离子体增强化学气相沉积的进气电极板，其特征在于，还包括固定套管，所述固定套管设置在所述电极杆屏蔽套的外侧，所述电极杆屏蔽罩通过所述固定套管连接到所述安装法兰上。

5.如权利要求4所述的用于等离子体增强化学气相沉积的进气电极板，其特征在于，所述安装法兰通过螺钉结构连接在所述电极杆上，所述螺钉结构与所述电极杆屏蔽套之间设置有密封圈。