[实用新型]用于支撑基板的载体以及所述载体的装置

权利要求书

1.一种用于在基板处理腔室中支撑基板(200)的载体(100)，所述载体包括：

-框架(110)，所述框架被配置成用于接收所述基板(200)；以及

-基板固持组件(120)，所述基板固持组件被配置成用于竖直地将所述基板固持在所述框架(110)内，其中所述基板固持组件(120)包括位置指示单元(140)，所述位置指示单元用于指示所述基板相对于所述框架的位置，其中所述位置指示单元(140)可相对于所述框架(110)移动。

2.如权利要求1所述的用于在基板处理腔室中支撑基板(200)的载体(100)，其特征在于，所述位置指示单元(140)包括用于接触所述基板的边缘的基板接触元件(141)和连接到所述基板接触元件(141)的位置指示元件(142)。

3.如权利要求2所述的用于在基板处理腔室中支撑基板(200)的载体(100)，其特征在于，所述位置指示元件(142)至少部分地布置在所述框架(110)的外部部分处。

4.如权利要求2所述的用于在基板处理腔室中支撑基板(200)的载体(100)，其特征在于，所述位置指示元件(142)从所述框架(110)的外缘突出。

5.如权利要求3所述的用于在基板处理腔室中支撑基板(200)的载体(100)，其特征在于，所述位置指示元件(142)从所述框架(110)的外缘突出。

6.如权利要求1所述的用于在基板处理腔室中支撑基板(200)的载体(100)，其特征在于，所述位置指示单元(140)至少部分地延伸穿过所述框架(110)。

7.如权利要求4所述的用于在基板处理腔室中支撑基板(200)的载体(100)，其特征在于，所述位置指示单元(140)至少部分地延伸穿过所述框架(110)。

8.如权利要求5所述的用于在基板处理腔室中支撑基板(200)的载体(100)，其特征在于，所述位置指示单元(140)至少部分地延伸穿过所述框架(110)。

9.如权利要求1所述的用于在基板处理腔室中支撑基板(200)的载体(100)，其特征在于，所述位置指示单元(140)连接到所述框架(110)的侧面部分。

10.如权利要求4所述的用于在基板处理腔室中支撑基板(200)的载体(100)，其特征在于，所述位置指示单元(140)连接到所述框架(110)的侧面部分。

11.如权利要求5所述的用于在基板处理腔室中支撑基板(200)的载体(100)，其特征在于，所述位置指示单元(140)连接到所述框架(110)的侧面部分。

12.如权利要求7所述的用于在基板处理腔室中支撑基板(200)的载体(100)，其特征在于，所述位置指示单元(140)连接到所述框架(110)的侧面部分。

13.如权利要求8所述的用于在基板处理腔室中支撑基板(200)的载体(100)，其特征在于，所述位置指示单元(140)连接到所述框架(110)的侧面部分。

14.如权利要求1所述的用于在基板处理腔室中支撑基板(200)的载体(100)，其特征在于，所述位置指示单元(140)包括弹性元件(143)，所述弹性元件布置在所述基板接触元件(141)与所述位置指示元件(142)之间，其中所述弹性元件(143)被配置成用于接收作用在所述基板接触元件(141)上的力。

15.如权利要求1所述的用于在基板处理腔室中支撑基板(200)的载体(100)，其特征在于，所述基板固持组件(120)进一步包括定位单元(130)，所述定位单元被配置成用于将所述基板定位在框架内。

16.如权利要求15所述的用于在基板处理腔室中支撑基板(200)的载体(100)，其特征在于，所述定位单元(130)附接到所述框架的水平部分，并且其中所述定位单元(130)被配置成用于沿竖直方向将所述基板(200)定位在所述框架内。

17.如权利要求16所述的用于在基板处理腔室中支撑基板(200)的载体(100)，其特征在于，所述定位单元(130)包括可调量规(131)，所述可调量规用于对所述基板(200)的位置进行调整。