[实用新型]一种硅片印刷机正面电极印刷工位的定位工装有效

专利信息
申请号: 201621410465.5 申请日: 2016-12-21
公开(公告)号: CN206264577U 公开(公告)日: 2017-06-20
发明(设计)人: 王晓丽;景欢旺;吕海军;高超;项望 申请(专利权)人: 江苏晶鼎电子材料有限公司
主分类号: B41F17/00 分类号: B41F17/00
代理公司: 北京市领专知识产权代理有限公司11590 代理人: 林辉轮
地址: 223700 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 硅片 印刷机 正面 电极 印刷工 定位 工装
【权利要求书】:

1.一种硅片印刷机正面电极印刷工位的定位工装,包括工作台外壳体(1),其特征在于:所述工作台外壳体(1)的上表面设置有硅片工作台面(5),且工作台外壳体(1)的上表面靠近硅片工作台面(5)的两侧均设置有硅片工作台面(5),所述工作台外壳体(1)的一侧设置有气泵连接口(2),另一侧设置有压力释放口(9),所述工作台外壳体(1)的内部靠近硅片工作台面(5)的下方设置有内部气管(6),且工作台外壳体(1)的内部靠近内部气管(6)的下方设置有限位器驱动丝杠(11),所述硅片两侧限位器(3)的下方设置有限位器滑道(8),所述硅片两侧限位器(3)与限位器滑道(8)的连接位置处分别设置有左侧限位器收紧转轴(14)和右侧限位器收紧转轴(10),所述限位器驱动丝杠(11)的外部设置有转轴丝杠套(12),所述硅片工作台面(5)的表面设置有吸附气孔(4),所述工作台外壳体(1)的下方两侧均设置有工作台固定螺栓(7),且工作台外壳体(1)的内部中间位置处设置有驱动电机(13),所述驱动电机(13)与电源电性连接。

2.根据权利要求1所述的一种硅片印刷机正面电极印刷工位的定位工装,其特征在于:所述硅片两侧限位器(3)共设置有两个,且两个硅片两侧限位器(3)分别安装在硅片工作台面(5)的左右两侧。

3.根据权利要求1所述的一种硅片印刷机正面电极印刷工位的定位工装,其特征在于:所述限位器滑道(8)共设置有两个,且两个限位器滑道(8)分别对应安装在硅片两侧限位器(3)的下方。

4.根据权利要求1所述的一种硅片印刷机正面电极印刷工位的定位工装,其特征在于:所述左侧限位器收紧转轴(14)与限位器驱动丝杠(11)通过螺纹转动连接。

5.根据权利要求1所述的一种硅片印刷机正面电极印刷工位的定位工装,其特征在于:所述工作台外壳体(1)为长方体结构。

6.根据权利要求1所述的一种硅片印刷机正面电极印刷工位的定位工装,其特征在于:所述吸附气孔(4)至少设置有十个。

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