[实用新型]一种掩膜板的检查装置

权利要求书

1.一种掩膜板的检查装置，其特征在于：包括底座，所述底座是由底板和两侧的竖板(4)拼接成的U形支架，两侧竖板(4)外侧各安装有一个旋转电机(2)，两个旋转电机对称安装，两个旋转电机的转轴穿过竖板(4)连接旋转框架(5)，掩膜板(6)通过夹紧装置固定于旋转框架(5)上，通过旋转电机(2)带动掩膜板(6)旋转；

包括配套设置的电气控制按键板(1)和电气控制柜(3)，所述电气控制按键板(1)和电气控制柜(3)连接旋转电机(2)、水平定位装置(7)和旋转限位装置(8)，通过水平定位装置(7)控制掩膜板(6)的水平位置，通过旋转限位装置(8)控制掩膜板(6)的正反旋转角度。

2.根据权利要求1所述的一种掩膜板的检查装置，其特征在于：所述水平定位装置(7)包括固定架和两个第一红外线定位仪，两个第一红外线定位仪等高设置，设置的高度等于掩膜板水平放置时的高度。

3.根据权利要求1所述的一种掩膜板的检查装置，其特征在于：所述旋转限位装置(8)包括设置于一个竖板(4)上的两个第二红外线定位仪，一个第二红外线定位仪限制掩膜板(6)的正向旋转角度，一个第二红外线定位仪限制掩膜板(6)的反向旋转角度。

4.根据权利要求1所述的一种掩膜板的检查装置，其特征在于：所述旋转框架(5)由上层框架和下层框架拼接而成，两个旋转电机的转轴穿过竖板(4)连接下层框架，掩膜板(6)放置于下层框架上，通过夹紧装置将上层框架和下层框架夹紧拼接从而固定掩膜板于上层框架和下层框架之间。

5.根据权利要求4所述的一种掩膜板的检查装置，其特征在于：上层框架和下层框架均为方形外框和中间的十字形架一体化制造结构。