[实用新型]一种图形化蓝宝石衬底涂胶去边清洗结构有效
申请号: | 201621452397.9 | 申请日: | 2016-12-28 |
公开(公告)号: | CN206282874U | 公开(公告)日: | 2017-06-27 |
发明(设计)人: | 侯想;刘杨;陈锋 | 申请(专利权)人: | 福建中晶科技有限公司 |
主分类号: | H01L33/00 | 分类号: | H01L33/00;H01L21/02;H01L21/67 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 364000 福建*** | 国省代码: | 福建;35 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 图形 蓝宝石 衬底 涂胶 清洗 结构 | ||
1.一种图形化蓝宝石衬底涂胶去边清洗结构,包括容器(1)、图形化蓝宝石衬底(8),其特征在于它还包括显影液(2)、氮气输入管(3)、流量管(4)、控制阀(5)、流量表(6)、喷头(7);所述的显影液(2)位于容器(1)内;所述氮气输入管(3)与容器(1)瓶口上的密封盖配合安装,且氮气输入管(3)伸入容器(1)内一定的长度;所述的流量管(4)分为流量输入管(4-1)与流量输出管(4-2);流量管(4)与容器(1)瓶口上的密封盖配合安装,且与氮气输入管(3)相邻;流量输入管(4-1)伸入容器(1)底部,置于显影液(2)中;流量输出管(4-2)设于容器(1)外部,倾斜安装于图形化蓝宝石衬底(8)底部;所述的控制阀(5)安装于流量输出管(4-2)上,位于容器(1)密封盖与流量表(6)之间;所述的流量表(6)安装于流量输出管(4-2)上,位于控制阀(5)与喷头(7)之间;所述的喷头(7)与流量输出管(4-2)的输出口配合安装,位于图形化蓝宝石衬底(8)底部。
2.根据权利要求1所述的一种图形化蓝宝石衬底涂胶去边清洗结构,其特征在于氮气通过氮气输入管(3)输送于容器(1),与显影液(2)混合后,通过流量管(4)输送于图形化蓝宝石衬底(8)底部,对图形化蓝宝石衬底(8)底部涂胶去边进行清洗。
3.根据权利要求1所述的一种图形化蓝宝石衬底涂胶去边清洗结构,其特征在于,所述流量输出管(4-2)与容器(1)密封盖的倾斜角为45°,可防止显影液(2)输出时产生的气泡影响清洗效果。
4.根据权利要求1所述的一种图形化蓝宝石衬底涂胶去边清洗结构,其特征在于,所述流量输入管(4-1)输入端口与容器(1)底部间距为3-5mm。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于福建中晶科技有限公司,未经福建中晶科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201621452397.9/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。