[实用新型]一种图形化蓝宝石衬底涂胶去边清洗结构

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种图形化蓝宝石衬底涂胶去边清洗结构。

背景技术

图形化蓝宝石衬底也就是在蓝宝石衬底上生长干法刻蚀用掩膜，用标准的光刻工艺将掩膜刻出图形，利用ICP刻蚀技术刻蚀蓝宝石，并去掉掩膜，再在其上生长GaN材料，使GaN材料的纵向外延变为横向外延，一方面可以有效减少GaN外延材料的位错密度，从而减小有源区的非辐射复合，减小反向漏电流，提高LED的寿命;另一方面有源区发出的光，经GaN和蓝宝石衬底界面多次散射，改变了全反射光的出射角，增加了倒装LED的光从蓝宝石衬底出射的几率，从而提高了光的提取效率，在加工过程中会对图形化蓝宝石衬底进行涂胶、烤胶、爆光，涂胶边易会产生杂质，需要经过清洗，为此我们提出一种图形化蓝宝石衬底涂胶去边清洗结构。

发明内容

本实用新型的目的是克服上述缺陷，提供的一种图形化蓝宝石衬底涂胶去边清洗结构。

为实现上述目的，本实用新型采用如下方式进行。

一种图形化蓝宝石衬底涂胶去边清洗结构，包括容器、图形化蓝宝石衬底，其特征在于它还包括显影液、氮气输入管、流量管、控制阀、流量表、喷头；所述的显影液位于容器内；所述氮气输入管与容器瓶口上的密封盖配合安装，且氮气输入管伸入容器内一定的长度；所述的流量管分为流量输入管与流量输出管；流量管与容器瓶口上的密封盖配合安装，且与氮气输入管相邻；流量输入管伸入容器底部，置于显影液中；流量输出管设于容器外部，倾斜安装于图形化蓝宝石衬底底部；所述的控制阀安装于流量输出管上，位于容器密封盖与流量表之间；所述的流量表安装于流量输出管上，位于控制阀与喷头之间；所述的喷头与流量输出管的输出口配合安装，位于图形化蓝宝石衬底底部。

氮气通过氮气输入管输送于容器，与显影液混合后，通过流量管输送于图形化蓝宝石衬底底部，对图形化蓝宝石衬底底部涂胶去边进行清洗。

所述流量输出管与容器密封盖的倾斜角为45°，可防止显影液输出时产生的气泡影响清洗效果。

所述流量输入管输入端口与容器底部间距为3-5mm。

本实用新型的有益效果是：

提供一种图形化蓝宝石衬底涂胶去边清洗结构，氮气通过氮气输入管输送于容器，与显影液混合后通过流量管输送于图形化蓝宝石衬底底部进行清洗，其清洗用的流量管采用45°安装，再通过控制阀与流量表进行流量控制，可有效防止显影液输出时产生的气泡影响清洗的稳定性，同时可提高图形化蓝宝石衬底涂胶去边清洗效率及质量。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种图形化蓝宝石衬底涂胶去边清洗结构的主视结构示意图。

图中：1容器、2显影液、3氮气输入管、4流量管、4-1流量输入管、4-2流量输出管、5控制阀、6流量表、7清洗喷头、8图形化蓝宝石衬底。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型的一种图形化蓝宝石衬底涂胶去边清洗结构作进一步的描述。

如图所示，一种图形化蓝宝石衬底涂胶去边清洗结构，包括容器1、图形化蓝宝石衬底8，其特征在于它还包括显影液2、氮气输入管3、流量管4、控制阀5、流量表6、喷头7；所述的显影液2位于容器1内；所述氮气输入管3与容器1瓶口上的密封盖配合安装，且氮气输入管3伸入容器1内一定的长度；所述的流量管4分为流量输入管4-1与流量输出管4-2；流量管4与容器1瓶口上的密封盖配合安装，且与氮气输入管3相邻；流量输入管4-1伸入容器1底部，置于显影液2中；流量输出管4-2设于容器1外部，倾斜安装于图形化蓝宝石衬底8底部；所述的控制阀5安装于流量输出管4-2上，位于容器1密封盖与流量表6之间；所述的流量表6安装于流量输出管4-2上，位于控制阀5与喷头7之间；所述的喷头7与流量输出管4-2的输出口配合安装，位于图形化蓝宝石衬底8底部。

工作原理：对图形化蓝宝石衬底涂胶去边清洗时，氮气通过氮气输入管3进入到容器1内，与容器1的显影液2进行化学反应，且增加容器1的压力，打开控制阀5，流量输入管4-1将显影液2输送至流量输出管4-2，再通过流量表6进行计量输出送至喷头7处，对图形化蓝宝石衬底底部涂胶层进行清洗；其流量管采用45°安装，可有效防止显影液输出时产生的气泡影响清洗的稳定性，同时可提高图形化蓝宝石衬底涂胶去边清洗效率及质量。

以上所述的实施例，只是本实用新型较典型的具体实施方式的一种，本领域的技术人员在本实用新型技术方案范围内进行的通常变化和替换都应包含在本实用新型的操作范围内。