[实用新型]一种用于太阳能电池湿法刻蚀水膜铺设的牵引滚轮有效
申请号: | 201621463614.4 | 申请日: | 2016-12-29 |
公开(公告)号: | CN206516619U | 公开(公告)日: | 2017-09-22 |
发明(设计)人: | 蒋冬;史公彬 | 申请(专利权)人: | 杭州大和热磁电子有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L31/18 |
代理公司: | 杭州杭诚专利事务所有限公司33109 | 代理人: | 尉伟敏,方琦 |
地址: | 310053 浙江省杭*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 太阳能电池 湿法 刻蚀 铺设 牵引 滚轮 | ||
1.一种用于太阳能电池湿法刻蚀水膜铺设的牵引滚轮,牵引滚轮(1)位于沿输送方向上的水刀(2)位置的后方,牵引滚轮对应铺设于支撑滚轮(3)上且沿输送方向行进的多列太阳能电池(4),牵引滚轮均匀挤压太阳能电池表面上的水膜,其特征在于:所述的牵引滚轮呈分段间隙式结构,牵引滚轮上设有多组压轮组(11),每组压轮组对应相应列的太阳能电池且宽度与太阳能电池宽度相吻合,所述压轮组包括多个间隔的压轮(111)。
2.根据权利要求1所述的一种用于太阳能电池湿法刻蚀水膜铺设的牵引滚轮,其特征在于:所述压轮组的压轮(111)布置为三个区段,包括中间区段和左侧区段、右侧区段,其中的中间区段压轮对应所述太阳能电池(4)的中部,左右侧区段的压轮对应太阳能电池的左右两侧,中间区段的压轮分布间隔大于左右侧区段的压轮分布间隔。
3.根据权利要求1或2所述的一种用于太阳能电池湿法刻蚀水膜铺设的牵引滚轮,其特征在于:所述压轮(111)的轮面位置与所述支撑滚轮(3)上的凸环位置沿牵引滚轮的轴线方向相互错开。
4.根据权利要求1所述的一种用于太阳能电池湿法刻蚀水膜铺设的牵引滚轮,其特征在于:所述压轮组外侧的压轮(111)外侧面与所述太阳能电池(4)的外侧边沿距离为5~10mm。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造