[实用新型]一种用于太阳能电池湿法刻蚀水膜铺设的牵引滚轮有效
申请号: | 201621463614.4 | 申请日: | 2016-12-29 |
公开(公告)号: | CN206516619U | 公开(公告)日: | 2017-09-22 |
发明(设计)人: | 蒋冬;史公彬 | 申请(专利权)人: | 杭州大和热磁电子有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L31/18 |
代理公司: | 杭州杭诚专利事务所有限公司33109 | 代理人: | 尉伟敏,方琦 |
地址: | 310053 浙江省杭*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 太阳能电池 湿法 刻蚀 铺设 牵引 滚轮 | ||
技术领域
本实用新型涉及太阳能电池加工设备,尤其涉及到一种能提高水膜铺设质量和稳定性的用于太阳能电池湿法刻蚀水膜铺设的牵引滚轮。
背景技术
太阳能电池生产制造过程中,扩散后需要对产品的四周进行刻蚀,有干法等离子刻蚀和湿法酸或碱腐蚀来达到刻蚀的目的,目前大部分均已采用后者的刻蚀方式。
湿法刻蚀时需在产品的扩散面上铺设水膜加以保护,保护产品上表面的扩散方阻不会受到酸雾的影响而变大,同时保护产品上表面不会有过刻的现象而产生刻蚀边等外观不良;同时,在水膜铺设过程中,不希望产品背面被水浸湿而造成刻蚀不均匀,严重的甚至会因刻蚀不透而造成产品漏电不良。
传统设计在水膜铺设后,受产品表面亲水性的影响,并不能保证每一枚产品都能够在进入刻蚀槽体时水膜都能够很好地布满整个产品表面,因此,如图1和图2所示,在设计时会加装一根赶水滚轮,也称之为水膜牵引滚轮,传统水膜牵引滚轮采用一根常用的直滚轮,安装后保持与产品之间间隙在1~2mm,铺设过水膜的产品经过牵引滚轮位置时,牵引滚轮会吸附挤压产品表面的水膜,使水膜布满整个产品的表面。
以上传统牵引滚轮在完成水膜铺满整个产品表面的同时,会存在一些弊端:
一、因为产品相对比较轻,约10g/枚,牵引滚轮在吸附水膜的同时也会将产品头部略微吸起,造成水膜流向较低的产品尾部,经常会有部分水流入产品背面。
二、牵引滚轮在完成水膜铺满整个产品表面的同时,自身也会附着水珠,在转动过程中,水珠会接触到牵引滚轮下方的台阶支撑滚轮,浸湿此处的台阶支撑滚轮,会造成后续的产品经过时,背面局部被浸湿。
三、滚轮的物理位置发生变化或水膜控制系统发生轻微变化水膜太厚时,经过这种结构的牵引滚轮时,部分水膜会被挤到产品背面造成产品背面局部有水。
以上三种情况都会使待刻蚀的产品表面局部被水浸湿,造成刻蚀不均匀,容易引起产品漏电不良。
实用新型内容
本实用新型主要解决现有牵引滚轮存在吸附力大,容易引起产品表面局部浸湿而造成刻蚀不均匀、产品质量不良的技术问题;提供了一种能提高水膜铺设质量和稳定性的用于太阳能电池湿法刻蚀水膜铺设的牵引滚轮。
为了解决上述存在的技术问题,本实用新型主要是采用下述技术方案:
本实用新型的一种用于太阳能电池湿法刻蚀水膜铺设的牵引滚轮,位于沿输送方向上的水刀位置的后方,牵引滚轮对应铺设于支撑滚轮上且沿输送方向行进的多列太阳能电池,牵引滚轮均匀太阳能电池表面上的水膜,所述的牵引滚轮呈分段间隙式结构,牵引滚轮上设有多组压轮组,每组压轮组对应相应列的太阳能电池且宽度与太阳能电池宽度相吻合,所述压轮组包括多个间隔的压轮,采用分段间隔式牵引滚轮,可大大减少对经过产品的吸附力,使其行进平稳,不会使产品表面的水膜因不稳晃动而流至产品端面,造成产品背面局部浸润,同时,在挤压时还可通过压轮间隙而卸压,使水膜均匀铺满整个产品表面而不会流入产品侧边和背面。
作为优选,所述压轮组的压轮布置为三个区段,包括中间区段和左侧区段、右侧区段,其中的中间区段压轮对应所述太阳能电池的中部,左右侧区段的压轮对应太阳能电池的左右两侧,中间区段的压轮分布间隔大于左右侧区段的压轮分布间隔,将牵引滚轮的压轮分区段设置,且调整压轮的间隔,使产品两侧的水膜分布更均匀。
作为优选,所述压轮的轮面位置与所述支撑滚轮上的凸环位置沿牵引滚轮的轴线方向相互错开,由于两者的轮面相互错开,即使牵引滚轮轮面上沾附有水珠也不会跌落至支撑滚轮上而导致支撑滚轮轮面被浸湿,造成后续产品背面被水局部浸润。
作为优选,所述压轮组外侧的压轮外侧面与所述太阳能电池的外侧边沿距离为5~10mm,两者设有一定的距离,使较厚的水膜在经过牵引滚轮挤压时可通过间隙卸压,多余的水不会被挤压到产品边沿而浸湿产品侧边和背面,保证产品质量。
本实用新型的有益效果是:采用分段间隔式牵引滚轮,可大大减少对经过产品的吸附力,使其行进平稳,不会使产品表面的水膜因不稳晃动而流至产品端面,造成产品背面局部浸润,同时,在挤压时还可通过压轮间隙而卸压,使水膜均匀铺满整个产品表面而不会流入产品侧边和背面。
附图说明
图1是现有技术的牵引滚轮结构示意图。
图2是图1结构的侧视示意图。
图3是本实用新型的牵引滚轮结构示意图。
图中1.牵引滚轮,11.压轮组,111.压轮,2.水刀,3.支撑滚轮,4.太阳能电池。
具体实施方式
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造