[实用新型]一种用于VAD沉积腔体的工艺观察窗

权利要求书

1.一种用于VAD沉积腔体的工艺观察窗，其特征在于：包括观察窗本体及观察窗本体一侧设置的玻璃压板、另一侧设置的玻璃冷却板；所述观察窗本体包括玻璃固定板和玻璃固定板上安装的观察玻璃；所述玻璃冷却板上设有环形的导流沟槽，所述玻璃压板上安装有吹扫装置，所述导流沟槽与所述吹扫装置的送气口相通，在玻璃冷却板上设有与导流沟槽相通的若干进气孔，各个进气孔的吹气方向均朝向所述观察玻璃；所述玻璃冷却板上设有用于与沉积腔体门密封的第一密封件；所述玻璃压板上设有用于与所述玻璃固定板之间密封的第二密封件、以及用于与所述观察玻璃之间密封的第三密封件。

2.根据权利要求1所述的一种用于VAD沉积腔体的工艺观察窗，其特征在于：所述吹扫装置包括环绕所述玻璃压板圆周方向设置的气管，气管上设有进气口和数个送气口；所述送气口以所述观察玻璃中心为中心均布设置。

3.根据权利要求1所述的一种用于VAD沉积腔体的工艺观察窗，其特征在于：所述第一密封件、第二密封件以及第三密封件均为O型密封圈。

4.根据权利要求1或3所述的一种用于VAD沉积腔体的工艺观察窗，其特征在于：所述第一密封件为氟橡胶O型圈。

5.根据权利要求1所述的一种用于VAD沉积腔体的工艺观察窗，其特征在于：所述进气孔沿所述导流沟槽均布设置。

6.根据权利要求1所述的一种用于VAD沉积腔体的工艺观察窗，其特征在于：所述玻璃冷却板采用6061铝合金板。

7.根据权利要求2所述的一种用于VAD沉积腔体的工艺观察窗，其特征在于：所述气管的进气口处设有流量计和开关控制阀。

8.根据权利要求1所述的一种用于VAD沉积腔体的工艺观察窗，其特征在于：所述玻璃固定板上设有用于安装所述观察玻璃的阶梯沉槽。