[实用新型]电子源器件

权利要求书

1.一种电子源器件，其特征在于，包括射频电源、射频感抗匹配网络、起辉维持极、射频线圈、绝缘电离腔体和正离子收集极，

所述射频感抗匹配网络连接所述射频电源和所述射频线圈，所述绝缘电离腔体罩设于所述正离子收集极，且与所述正离子收集极围合形成绝缘电离腔室；所述绝缘电离腔体开设有发射孔，所述起辉维持极开设有与所述发射孔对应的通孔；所述正离子收集极开设有用于通入惰性气体的进气通道，以及连通所述进气通道和所述绝缘电离腔室之间的惰性气体供气孔，所述射频线圈套设于所述绝缘电离腔体外侧。

2.根据权利要求1所述的电子源器件，其特征在于，所述正离子收集极包括底座和凸出设置于所述底座的突出部，所述进气通道贯穿所述底座和所述突出部，所述突出部开设有连通所述进气通道和所述绝缘电离腔室之间的所述惰性气体供气孔。

3.根据权利要求2所述的电子源器件，其特征在于，所述惰性气体供气孔开设于所述突出部远离所述底座的一端。

4.根据权利要求3所述的电子源器件，其特征在于，所述突出部为圆柱形，所述惰性气体供气孔均匀分布于所述突出部远离所述底座一端的外周。

5.根据权利要求1所述的电子源器件，其特征在于，所述绝缘电离腔体为圆柱形腔体，所述发射孔设置于所述绝缘电离腔体远离所述正离子收集极的一端的中部。

6.根据权利要求1所述的电子源器件，其特征在于，所述射频线圈均匀套设于所述绝缘电离腔体外侧。

7.根据权利要求1所述的电子源器件，其特征在于，还包括罩设于所述绝缘电离腔体和所述射频线圈的屏蔽外壳，所述屏蔽外壳开设有与所述发射孔对应的通孔。

8.根据权利要求1所述的电子源器件，其特征在于，还包括连接所述起辉维持极的起辉维持极电源。

9.根据权利要求1-8任意一项所述的电子源器件，其特征在于，还包括连接所述正离子收集极的正离子收集极电源。