[实用新型]一种硅棒粘接自动化生产线有效

专利信息
申请号: 201621475116.1 申请日: 2016-12-30
公开(公告)号: CN206349340U 公开(公告)日: 2017-07-21
发明(设计)人: 李慧;刁春志 申请(专利权)人: 沈阳昊霖智能装备有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/677;H01L21/687
代理公司: 沈阳亚泰专利商标代理有限公司21107 代理人: 史力伏
地址: 110141 辽宁*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要:
搜索关键词: 一种 硅棒粘接 自动化 生产线
【说明书】:

技术领域

实用新型属于自动化生产线技术领域,具体涉及一种自动化程度高,劳动强度低,可有效提高生产效率,实现连续化生产的硅棒粘接自动化生产线。

背景技术

由于单晶硅是制造半导体硅器件的原料,其主要用途是用作半导体材料和利用太阳能光伏发电、供热等,是当代信息技术产业的支柱;并且绿色环保,在未来具有非常广阔的前景,从而使得硅棒加工生产成为了新型热门行业。在硅棒生产加工过程中,必须要先将晶托上料,然后对晶托进行清洗、涂胶、上玻璃并且压紧,清洗多余的胶水以及其他杂物;再进行涂胶、放硅棒,最终将晶托下料,对硅棒进行切割。

现阶段的半导体硅器件原料生产厂,大多以人工操作来完成硅棒的加工。这种人工操作的作业方式,浪费劳动力,作业人员劳动强度大,并且生产效率极低,无法保证生产节奏,严重影响连续化生产。另外,硅棒粘接工艺中涂胶、酒精擦拭及底剂涂抹等工序,不但需要很大的操作空间,而且长期操作这些化学制剂,对人体存在一定的危害性。故有必要对现有技术的硅棒粘接生产线进行改进。

实用新型内容

本实用新型就是针对上述问题,提供一种自动化程度高,劳动强度低,可有效提高生产效率,实现连续化生产的硅棒粘接自动化生产线。

本实用新型所采用的技术方案是:该硅棒粘接自动化生产线包括传送线和运输托盘,其特征在于:沿所述传送线的输送方向依次设置有晶托自动上料单元,晶托清洗单元,晶托涂胶单元,玻璃自动上料单元,玻璃压紧单元,玻璃清洗单元,玻璃在线涂胶单元,硅棒自动上料单元和自动下料单元;所述晶托自动上料单元包括滑移上料装置,智能移栽装置和机架Ⅰ,智能移栽装置设置在机架Ⅰ上部,滑移上料装置和传送线分别布置在机架Ⅰ的两侧,机架Ⅰ的中部设置有自动对中装置,传送线的下方设置有顶升装置;所述晶托清洗单元包括机架Ⅱ,传送线布置在机架Ⅱ的中部,传送线上方设置有移动机构,移动机构上设置有清洗喷底剂机构,传送线的下方设置有升降装置Ⅰ;所述晶托涂胶单元包括机架Ⅲ,传送线布置在机架Ⅲ的中部,传送线上方设置有直角坐标机械手,传送线的下方设置有升降装置Ⅱ;所述玻璃自动上料单元包括双工位玻璃上料装置,上料机械手和机架Ⅳ,上料机械手设置在机架Ⅳ上部,双工位玻璃上料装置和传送线分别布置在机架Ⅳ的两侧,机架Ⅳ的中部设置有玻璃清洗装置,玻璃清洗装置的下方设置有顶升玻璃装置,顶升玻璃装置和传送线之间设置有玻璃翻转装置;所述玻璃压紧单元包括机架Ⅴ,传送线布置在机架Ⅴ的中部,传送线上方设置有玻璃压紧机构,传送线下方设置有升降装置Ⅲ;所述玻璃清洗单元的结构与晶托清洗单元相同;所述玻璃在线涂胶单元包括设置在传送线上方的涂胶直线模组;所述硅棒自动上料单元包括上料传输装置,双夹爪移栽装置和机架Ⅵ,双夹爪移栽装置设置在机架Ⅵ上部,上料传输装置和传送线分别布置在机架Ⅵ的两侧,机架Ⅵ的中部设置有硅棒清洁装置,硅棒清洁装置的下方设置有硅棒翻转装置,传送线的下方设置有举升定位装置;所述自动下料单元包括移栽平台,移栽机械手和机架Ⅶ,移栽机械手设置在机架Ⅶ上部,所述移栽平台和传送线分别布置在机架Ⅶ的两侧。

所述传送线是由上层传送线和下层传送线构成双层传输线体,上层传送线与下层传送线平行布置,传送线的两端分别设置有托盘升降机。

所述晶托自动上料单元的滑移上料装置包括上料导轨Ⅰ,上料导轨Ⅰ上设置有滑移底盘,滑移底盘的下部设置有滑移气缸,滑移底盘上设置有定位块Ⅰ;所述智能移栽装置包括移动平台Ⅰ,移动平台Ⅰ通过下部设置的平移机构Ⅰ布置在机架Ⅰ顶部的横梁上,平移机构Ⅰ的驱动端与平移电机Ⅰ相连,移动平台Ⅰ中部的开孔处设置有竖直布置的升降导杆Ⅰ,升降导杆Ⅰ上设置有升降机构Ⅰ,升降机构Ⅰ的驱动端与升降电机Ⅰ相连;升降导杆Ⅰ的下端设置有电磁吸盘;所述自动对中装置包括对中架体,对中架体的一侧设置有正面对中机构,正面对中机构包括正面对中气缸,正面对中气缸的伸缩端设置有长条形的正面对中推板,正面对中推板的两端分别设置有导向机构;对中架体的一端设置有侧面对中机构,侧面对中机构包括侧面对中气缸,侧面对中气缸的伸缩端设置有侧面对中推板;对中架体上与正面对中机构相对的一侧设置有正面固定挡块,对中架体上与侧面对中机构相对的一侧设置有侧面固定挡块;所述顶升装置包括顶升板,顶升板上设置有竖直布置的对中锥形钉,顶升板的两端设置有挡停机构Ⅰ,顶升板的下部设置有定位顶升机构,定位顶升机构的驱动端与顶升气缸相连。

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