[实用新型]一种硅棒粘接自动化生产线有效
申请号: | 201621475116.1 | 申请日: | 2016-12-30 |
公开(公告)号: | CN206349340U | 公开(公告)日: | 2017-07-21 |
发明(设计)人: | 李慧;刁春志 | 申请(专利权)人: | 沈阳昊霖智能装备有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/677;H01L21/687 |
代理公司: | 沈阳亚泰专利商标代理有限公司21107 | 代理人: | 史力伏 |
地址: | 110141 辽宁*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 硅棒粘接 自动化 生产线 | ||
技术领域
本实用新型属于自动化生产线技术领域,具体涉及一种自动化程度高,劳动强度低,可有效提高生产效率,实现连续化生产的硅棒粘接自动化生产线。
背景技术
由于单晶硅是制造半导体硅器件的原料,其主要用途是用作半导体材料和利用太阳能光伏发电、供热等,是当代信息技术产业的支柱;并且绿色环保,在未来具有非常广阔的前景,从而使得硅棒加工生产成为了新型热门行业。在硅棒生产加工过程中,必须要先将晶托上料,然后对晶托进行清洗、涂胶、上玻璃并且压紧,清洗多余的胶水以及其他杂物;再进行涂胶、放硅棒,最终将晶托下料,对硅棒进行切割。
现阶段的半导体硅器件原料生产厂,大多以人工操作来完成硅棒的加工。这种人工操作的作业方式,浪费劳动力,作业人员劳动强度大,并且生产效率极低,无法保证生产节奏,严重影响连续化生产。另外,硅棒粘接工艺中涂胶、酒精擦拭及底剂涂抹等工序,不但需要很大的操作空间,而且长期操作这些化学制剂,对人体存在一定的危害性。故有必要对现有技术的硅棒粘接生产线进行改进。
实用新型内容
本实用新型就是针对上述问题,提供一种自动化程度高,劳动强度低,可有效提高生产效率,实现连续化生产的硅棒粘接自动化生产线。
本实用新型所采用的技术方案是:该硅棒粘接自动化生产线包括传送线和运输托盘,其特征在于:沿所述传送线的输送方向依次设置有晶托自动上料单元,晶托清洗单元,晶托涂胶单元,玻璃自动上料单元,玻璃压紧单元,玻璃清洗单元,玻璃在线涂胶单元,硅棒自动上料单元和自动下料单元;所述晶托自动上料单元包括滑移上料装置,智能移栽装置和机架Ⅰ,智能移栽装置设置在机架Ⅰ上部,滑移上料装置和传送线分别布置在机架Ⅰ的两侧,机架Ⅰ的中部设置有自动对中装置,传送线的下方设置有顶升装置;所述晶托清洗单元包括机架Ⅱ,传送线布置在机架Ⅱ的中部,传送线上方设置有移动机构,移动机构上设置有清洗喷底剂机构,传送线的下方设置有升降装置Ⅰ;所述晶托涂胶单元包括机架Ⅲ,传送线布置在机架Ⅲ的中部,传送线上方设置有直角坐标机械手,传送线的下方设置有升降装置Ⅱ;所述玻璃自动上料单元包括双工位玻璃上料装置,上料机械手和机架Ⅳ,上料机械手设置在机架Ⅳ上部,双工位玻璃上料装置和传送线分别布置在机架Ⅳ的两侧,机架Ⅳ的中部设置有玻璃清洗装置,玻璃清洗装置的下方设置有顶升玻璃装置,顶升玻璃装置和传送线之间设置有玻璃翻转装置;所述玻璃压紧单元包括机架Ⅴ,传送线布置在机架Ⅴ的中部,传送线上方设置有玻璃压紧机构,传送线下方设置有升降装置Ⅲ;所述玻璃清洗单元的结构与晶托清洗单元相同;所述玻璃在线涂胶单元包括设置在传送线上方的涂胶直线模组;所述硅棒自动上料单元包括上料传输装置,双夹爪移栽装置和机架Ⅵ,双夹爪移栽装置设置在机架Ⅵ上部,上料传输装置和传送线分别布置在机架Ⅵ的两侧,机架Ⅵ的中部设置有硅棒清洁装置,硅棒清洁装置的下方设置有硅棒翻转装置,传送线的下方设置有举升定位装置;所述自动下料单元包括移栽平台,移栽机械手和机架Ⅶ,移栽机械手设置在机架Ⅶ上部,所述移栽平台和传送线分别布置在机架Ⅶ的两侧。
所述传送线是由上层传送线和下层传送线构成双层传输线体,上层传送线与下层传送线平行布置,传送线的两端分别设置有托盘升降机。
所述晶托自动上料单元的滑移上料装置包括上料导轨Ⅰ,上料导轨Ⅰ上设置有滑移底盘,滑移底盘的下部设置有滑移气缸,滑移底盘上设置有定位块Ⅰ;所述智能移栽装置包括移动平台Ⅰ,移动平台Ⅰ通过下部设置的平移机构Ⅰ布置在机架Ⅰ顶部的横梁上,平移机构Ⅰ的驱动端与平移电机Ⅰ相连,移动平台Ⅰ中部的开孔处设置有竖直布置的升降导杆Ⅰ,升降导杆Ⅰ上设置有升降机构Ⅰ,升降机构Ⅰ的驱动端与升降电机Ⅰ相连;升降导杆Ⅰ的下端设置有电磁吸盘;所述自动对中装置包括对中架体,对中架体的一侧设置有正面对中机构,正面对中机构包括正面对中气缸,正面对中气缸的伸缩端设置有长条形的正面对中推板,正面对中推板的两端分别设置有导向机构;对中架体的一端设置有侧面对中机构,侧面对中机构包括侧面对中气缸,侧面对中气缸的伸缩端设置有侧面对中推板;对中架体上与正面对中机构相对的一侧设置有正面固定挡块,对中架体上与侧面对中机构相对的一侧设置有侧面固定挡块;所述顶升装置包括顶升板,顶升板上设置有竖直布置的对中锥形钉,顶升板的两端设置有挡停机构Ⅰ,顶升板的下部设置有定位顶升机构,定位顶升机构的驱动端与顶升气缸相连。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于沈阳昊霖智能装备有限公司,未经沈阳昊霖智能装备有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201621475116.1/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种用于晶圆的打点装置
- 下一篇:一种新型多晶硅片清洗机
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造