[实用新型]一种集成放大器功能的电容式位移传感器

权利要求书

1.一种集成放大器功能的电容式位移传感器，用于检测其与加工工件的距离，其特征在于：该电容式位移传感器内包括一腔体，该腔体内设置有一前置放大器，该电容式位移传感器将其与加工工件之间的间隙变化转化为电容信号，并将电容信号传输到前置放大器中。

2.根据权利要求1所述的电容式位移传感器，其特征在于：该电容式位移传感器包括设置在其下端面的喷嘴，该电容式位移传感器感应喷嘴与加工工件之间的间隙变化，将间隙变化转化为电容信号，并经过前置放大器输送到外部的调高系统，该调高系统根据电容信号调节喷嘴与加工工件之间的间隙，使间隙恒定。

3.根据权利要求2所述的电容式位移传感器，其特征在于：该电容式位移传感器内设置有弹簧顶针，该弹簧顶针的顶针与喷嘴连接，该弹簧顶针的后端输出端与前置放大器连接；该喷嘴与电容式位移传感器贴合时抵靠弹簧顶针的顶针，并使其受压与弹簧顶针的后端输出端接通，该电容信号依次通过顶针、后端输出端发送到前置放大器上。

4.根据权利要求3所述的电容式位移传感器，其特征在于：该喷嘴与电容式位移传感器之间还设置有一陶瓷环，该喷嘴通过陶瓷环安装在电容式位移传感器的下端面，该弹簧顶针的顶针与陶瓷环抵触，且抵触位置上设置有一与喷嘴连接的探针。

5.根据权利要求3所述的电容式位移传感器，其特征在于：该弹簧顶针的后端输出端与前置放大器之间设置有一弹簧顶针连接线。

6.根据权利要求1或2所述的电容式位移传感器，其特征在于：该电容式位移传感器包括上壳和下壳，该下壳设置有一空槽，该前置放大器设置在空槽 内，该空槽与上壳闭合形成所述腔体。

7.根据权利要求6所述的电容式位移传感器，其特征在于：该上壳和下壳均包括一通孔，激光穿过通孔并从喷嘴射出；该上壳和下壳均的通孔贴合处设置有密封圈。

8.根据权利要求6所述的电容式位移传感器，其特征在于：该电容式位移传感器还包括与外部调高系统连接的BNC接头，该BNC接头与前置放大器连接，该前置放大器将处理后的电容信号发送到BNC接头。

9.根据权利要求1所述的电容式位移传感器，其特征在于：该前置放大器为前置放大电路板，该前置放大电路板固定在腔体内。

10.根据权利要求1所述的电容式位移传感器，其特征在于：该电容式位移传感器还包括一安装孔，该电容式位移传感器通过安装孔与外部的激光切割头连接。