[实用新型]匀胶显影设备异常监控系统有效
申请号: | 201621490072.X | 申请日: | 2016-12-30 |
公开(公告)号: | CN206421161U | 公开(公告)日: | 2017-08-18 |
发明(设计)人: | 邓涛;周文林 | 申请(专利权)人: | 杭州士兰集成电路有限公司 |
主分类号: | G03F7/30 | 分类号: | G03F7/30 |
代理公司: | 北京成创同维知识产权代理有限公司11449 | 代理人: | 蔡纯,张靖琳 |
地址: | 310018 浙江省杭州市杭*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 显影 设备 异常 监控 系统 | ||
1.一种匀胶显影设备异常监控系统,其特征在于,所述监控系统包括:
依次连接的传感器、主控装置以及提示装置,
所述传感器用于将工作条件的异常转化为输入信号,
所述主控装置包括:
传感信号传递模块;
微处理器,通过所述传感信号传递模块与所述传感器连接,所述输入信号通过所述传感信号传递模块传至所述微处理器,所述微处理器用于根据所述输入信号得出输出信号;以及
存储模块,用于根据所述输入信号记录工作条件的异常信息,
所述提示装置用于根据所述输出信号发出提示。
2.根据权利要求1所述的匀胶显影设备异常监控系统,其特征在于,所述传感器为多个,包括:光刻胶异常检测传感器、显影液异常检测传感器、去边液异常检测传感器、漏液异常检测传感器、废胶桶异常检测传感器以及胶泵异常检测传感器。
3.根据权利要求1所述的匀胶显影设备异常监控系统,其特征在于,所述传感信号传递模块为第一光耦电路,
所述传感器未检测到工作条件的异常,所述输入信号使得所述第一光耦电路断开;
所述传感器检测到工作条件的异常,所述输入信号使得所述第一光耦电路导通,所述微处理器得出输出信号。
4.根据权利要求1所述的匀胶显影设备异常监控系统,其特征在于,所述微处理器通过第二光耦电路与所述提示装置信号连接。
5.根据权利要求1所述的匀胶显影设备异常监控系统,其特征在于,所述提示装置为报警灯和/或嗡鸣器。
6.根据权利要求1所述的匀胶显影设备异常监控系统,其特征在于,所述主控装置还包括:
实时时钟模块,用于提供实时时钟数据。
7.根据权利要求6所述的匀胶显影设备异常监控系统,其特征在于,所述异常信息包括:异常的工作条件的类别、异常次数以及异常发生时间。
8.根据权利要求1所述的匀胶显影设备异常监控系统,其特征在于,所述主控装置还包括:
显示模块,用于显示所述异常信息。
9.根据权利要求1所述的匀胶显影设备异常监控系统,其特征在于,所述主控装置还包括:
按键模块,与所述微处理器信号连接,用于提供人机交互,同时用于终止所述提示装置发出的提示。
10.根据权利要求1所述的匀胶显影设备异常监控系统,其特征在于,所述主控装置还包括:
串口通讯模块,将所述主控装置与计算机连接。
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