[实用新型]用于光刻机上的真空检测装置有效
| 申请号： | 201621492895.6 | 申请日： | 2016-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN206421158U | 公开（公告）日： | 2017-08-18 |
| 发明（设计）人： | 周文林;邓涛 | 申请（专利权）人： | 杭州士兰集成电路有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京成创同维知识产权代理有限公司11449 | 代理人： | 蔡纯,张靖琳 |
| 地址： | 310018 浙江省杭州市杭*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 光刻 真空 检测 装置 | ||
1.一种用于光刻机上的真空检测装置，其特征在于，包括：
真空导管，与光刻机的吸附装置连接；以及
数字真空压力传感器，包括真空输入口与信号输出端，所述真空输入口与所述真空导管连接，所述信号输出端直接与所述光刻机的信号接收模块相连接。
2.根据权利要求1所述的真空检测装置，其特征在于，所述信号输出端输出第一电平或第二电平，
所述第一电平对应所述真空输入口的真空度高于预定真空度，所述吸附装置吸附有掩膜版或硅片；
所述第二电平对应所述真空输入口的真空度低于所述预定真空度，所述吸附装置未吸附掩膜版或硅片。
3.根据权利要求2所述的真空检测装置，其特征在于，所述预定真空度对应于所述吸附装置吸附有掩膜版或硅片时所述真空输入口的真空度。
4.根据权利要求2所述的真空检测装置，其特征在于，所述第一电平为高电平，所述第二电平为低电平。
5.根据权利要求2所述的真空检测装置，其特征在于，所述数字真空压力传感器还包括显示装置，用于显示所述真空输入口的真空度信息。
6.根据权利要求5所述的真空检测装置，其特征在于，所述第一电平对应所述显示装置显示的第一数值，所述第二电平对应所述显示装置显示的第二数值。
7.根据权利要求5所述的真空检测装置，其特征在于，所述第一数值为所述真空输入口的真空度与所述预定真空度之间的差值，所述第二数值为0。
8.根据权利要求5所述的真空检测装置，其特征在于，所述显示装置还显示所述预定真空度的数值。
9.根据权利要求2所述的真空检测装置，其特征在于，所述数字真空压力传感器还包括第一指示灯和第二指示灯，所述第一指示灯对应指示所述信号输出端输出的所述第一电平，所述第二指示灯对应指示所述信号输出端输出的所述第二电平。
10.根据权利要求1所述的真空检测装置，其特征在于，还包括：
抽真空设备；
抽真空管，所述抽真空设备通过所述抽真空管与所述吸附装置连接。
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