[实用新型]硅片清洗机烘道结构

说明书

技术领域

本实用新型涉及硅片清洗机技术领域，尤其涉及一种硅片清洗机烘道结构。

背景技术

现有的硅片清洗机烘道存在以下问题：

1.整个烘道内全部设有加热烘干装置，能耗高；

2.烘道壁多采用塑料结构，不仅防火性能差，而且保温效果不好，需要烘道内的加热烘干装置频繁启动进行加热，能耗高的同时降低了加热烘干装置的使用寿命。

实用新型内容

针对现有技术中的问题，本实用新型提供一种能耗低、防火和保温性能好的硅片清洗机烘道结构。

为实现以上技术目的，本实用新型的技术方案是：一种硅片清洗机烘道结构，包括烘道、输送链，所述输送链设置在烘道内，硅片篮放置在输送链上，所述烘道包括依次相连的第一烘道和第二烘道，所述第一烘道内设置有热辐射电加热装置，所述第二烘道顶部设有出风口，所述出风口与负压风机相连，所述第一烘道和第二烘道的烘道壁均包括三层结构，由内向外依次为防火层、空气层和保温层。

从以上描述可以看出，本实用新型具备以下优点：

1.将传统的烘道分为依次相连的第一烘道和第二烘道，在第一烘道内，硅片湿度较高，通过热辐射电加热装置对硅片进行加热烘干，待硅片湿度较低时，进入第二烘道，第二烘道内快速流动的空气对硅片进行风干，加热烘干和风干相结合，与原有全部加热烘干相比，降低了能耗。

2.烘道壁包括三层结构，由内向外依次为由内向外依次为防火层、空气层和保温层，不仅提高了防火和保温性能，降低了能耗，而且避免热辐射电加热装置频繁启动，提高了热辐射电加热装置的使用寿命。

作为优选，所述第二烘道的长度大于第一烘道的长度。风干时间大于加热烘干时间，减少加热烘干的能耗。

作为优选，所述防火层由岩棉夹芯板构成；岩棉夹芯板不仅防火性能好，而且具有良好的保温效果。

作为优选，所述保温层由网洞状板材构成，所述网洞状板材的网洞内填充有保温棉；网洞状板材结合保温棉进行保温，成本低，保温效果好。

作为改进，所述第一烘道和第二烘道的内壁上均设有防火涂层；烘道内壁设有防火涂层，进一步提高防火性能。

作为改进，所述第一烘道和第二烘道的连接处设有隔热保温墙，所述隔热保温墙的下部具有用于硅片篮通过的开口；利用隔热保温墙避免第一烘道的热能向第二烘道扩散，减少第一烘道内的热能流失。

作为优选，所述隔热保温墙包括三层结构，由第一烘道向第二烘道方向依次为防火层、空气层和保温层。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是本实用新型的烘道壁结构示意图；

附图标记：1.烘道、101.第一烘道、102.第二烘道、2.输送链、3.硅片篮、4.热辐射电加热装置、5.出风口、6.负压风机、7.防火层、8.空气层、9.保温层、10隔热保温墙。

具体实施方式

结合图1，详细说明本实用新型的一个具体实施例，但不对本实用新型的权利要求做任何限定。

如图1所示，一种硅片清洗机烘道结构，包括烘道1、输送链2，所述输送链2设置在烘道1内，硅片篮3放在输送链2上，烘道1包括依次相连的第一烘道101和第二烘道102，第一烘道101内设置有热辐射电加热装置4，第二烘道顶部设有出风口5，出风口5与负压风机6相连，第一烘道101和第二烘道102的烘道壁均包括三层结构，由内向外依次为由内向外依次为防火层7、空气层8和保温层9。

第一烘道101的进口为物料进口，第二烘道102的出口为物料出口。

第二烘道102的长度最好大于第一烘道101的长度。风干时间大于加热烘干时间，减少加热烘干的能耗。

防火层7选用岩棉夹芯板制作。

保温层9选用网洞状板材制作，然后在网洞内填充保温棉。

为了进一步提高防火性能，在第一烘道101和第二烘道102的内壁上增加防火涂层。

为了防止第一烘道101的热能向第二烘道102扩散，减少第一烘道101内的热能流失，在第一烘道101和第二烘道102的连接处设有隔热保温墙10，隔热保温墙10的下部具有用于硅片篮通过的开口。

隔热保温墙10最好也包括三层结构，由第一烘道向第二烘道方向依次为防火层7、空气层8和保温层9。