[发明专利]光调制器

权利要求书

1.一种光调制器，其具有：基板，具有电光效应；光波导，形成于该基板；及控制电极，用于控制在该光波导中传播的光波，所述光调制器的特征在于，

该光波导至少具有彼此并排配置的2个马赫-曾德尔型光波导即第1马赫-曾德尔型光波导(A1～A3)和第2马赫-曾德尔型光波导(B1～B3)，所述第1马赫-曾德尔型光波导(A1～A3)具有2个分支波导即第1分支波导(A1)和第2分支波导(A2)，所述第2马赫-曾德尔型光波导(B1～B3)具有2个分支波导即第3分支波导(B1)和第4分支波导(B2)，

该控制电极具有施加DC偏压的至少4个DC电极，即，向所述第1马赫-曾德尔型光波导施加DC偏压的第1热电极(C2)和第1接地电极(C1)以及向所述第2马赫-曾德尔型光波导施加DC偏压的第2热电极(C4)和第2接地电极(C3)，

向所述第1热电极(C2)供给DC偏压的第1配线横跨所述第1分支波导(A1)，

在所述第2分支波导(A2)的相对于成为所述第1马赫-曾德尔型光波导的对称轴的中心轴而与所述第1配线横跨所述第1分支波导(A1)的位置对称的特定位置设有第1虚设电极(E5)，所述第1虚设电极(E5)设置于所述第1配线的一部分，以将由所述第1分支波导(A1)和所述第2分支波导(A2)产生的光波的传播损失设定为相同程度，

所述第1马赫-曾德尔型光波导的一部分被所述第1配线及所述第1虚设电极(E5)横跨，并且，所述第1马赫-曾德尔型光波导的另一部分被向所述第2接地电极(C3)供给DC偏压的第2配线横跨，

在所述第2马赫-曾德尔型光波导的相对于所述第1马赫-曾德尔型光波导与所述第2马赫-曾德尔型光波导之间的对称轴而与所述第1配线及所述第2配线横跨所述第1马赫-曾德尔型光波导的位置对称的特定位置设有第2虚设电极(E7)，

所述第2虚设电极(E7)设置于向所述第2热电极(C4)供给DC偏压的配线的一部分，并沿着与所述第2马赫-曾德尔型光波导的延伸方向交叉的方向延伸，并且横跨所述第3分支波导(B1)和所述第4分支波导(B2)，以在所述第1马赫-曾德尔型光波导与所述第2马赫-曾德尔型光波导之间将彼此的光波的传播损失设定为相同程度。

2.根据权利要求1所述的光调制器，其特征在于，

横跨该光波导的配线或虚设电极中，横跨该光波导的部分的宽度窄于横跨该光波导的前后的部分的宽度。

3.一种光调制器，其具有：基板，具有电光效应；光波导，形成于该基板；及控制电极，用于控制在该光波导中传播的光波，所述光调制器的特征在于，

该光波导至少具有彼此并排配置的2个马赫-曾德尔型光波导即第1马赫-曾德尔型光波导(A1～A3)和第2马赫-曾德尔型光波导(B1～B3)，所述第1马赫-曾德尔型光波导(A1～A3)具有2个分支波导即第1分支波导(A1)和第2分支波导(A2)，所述第2马赫-曾德尔型光波导(B1～B3)具有2个分支波导即第3分支波导(B1)和第4分支波导(B2)，

该控制电极具有施加DC偏压的至少4个DC电极，即，向所述第1马赫-曾德尔型光波导施加DC偏压的第1热电极(C2)和第1接地电极(C1)以及向所述第2马赫-曾德尔型光波导施加DC偏压的第2热电极(C4)和第2接地电极(C3)，

向所述第2热电极(C4)供给DC偏压的第1配线横跨所述第3分支波导(B1)，

在所述第4分支波导(B2)的相对于成为所述第2马赫-曾德尔型光波导的对称轴的中心轴而与所述第1配线横跨所述第3分支波导(B1)的位置对称的特定位置设有第1虚设电极(E6)，所述第1虚设电极(E6)设置于所述第1配线的一部分，以将由所述第3分支波导(B1)和所述第4分支波导(B2)产生的光波的传播损失设定为相同程度，

向所述第2接地电极(C3)供给DC偏压的第2配线具有与所述第2马赫-曾德尔型光波导的延伸方向平行地配置的平行配线部(E9、E11)，

在相对于与该延伸方向平行且成为所述第2马赫-曾德尔型光波导的对称轴的中心轴而与该平行配线部(E9、E11)对称的位置形成有呈相同的形状的第3虚设电极(E10、E12)，

所述第3虚设电极(E10)从所述第2接地电极(C3)沿所述延伸方向延伸出，以使得通过所述第2接地电极(C3)施加于所述第3分支波导(B1)和所述第4分支波导(B2)的内部应力相等，

或者，所述第3虚设电极(E12)从第1虚设电极(E6)沿所述延伸方向延伸出，以使得通过所述第2接地电极(C3)和所述第2热电极(C4)施加于所述第3分支波导(B1)和所述第4分支波导(B2)的内部应力相等。