[发明专利]光调制器

说明书

本发明提供一种光调制器，其抑制消光比的劣化，进而能够抑制温度漂移现象。光调制器具有：基板，具有电光效应；光波导，形成于该基板；及控制电极，用于控制在该光波导中传播的光波，所述光调制器的特征在于，该光波导具有至少一个以上的马赫‑曾德尔型光波导(A1～A3、B1～B3)，该控制电极具有施加DC偏压的DC电极(C1～C4)，向该DC电极供给DC偏压的配线横跨该马赫‑曾德尔型光波导的2个分支波导中的一个，在另一个分支波导的特定位置设有第1虚设电极(虚线E5、E6)，所述特定位置与该配线横跨所述一个分支波导的位置相对对称。

技术领域

本发明涉及一种光调制器，尤其涉及一种具备具有电光效应的基板、形成于该基板的光波导及用于控制在该光波导中传播的光波的控制电极的光调制器。

背景技术

在光通信领域及光测量领域中利用光调制器。作为光调制器，使用在铌酸锂(LN)等的具有电光效应的基板上形成有光波导和用于控制在该光波导中传播的光波的控制电极的光调制器。如专利文献1所示，已知有具备将控制电极分离为输入RF调制信号的调制电极和施加DC偏置电压的DC电极的结构的光调制器。

并且，构成光调制器的基板中有X切割型基板和Z切割型基板，在X切割型基板中，向光波导施加与基板表面平行的方向的电场，在Z切割型基板中，向光波导施加与基板表面垂直的方向的电场。尤其在Z切割型基板中，需要在光波导的正上方形成控制电极，且为了避免在光波导中传播的光波被控制电极吸收，而在光波导与控制电极之间设有缓冲层。

相对于此，在X切割型基板中，以夹着光波导的方式配置控制电极，因此无需设置缓冲层，但从控制电极的配线的布线关系考虑，横跨光波导是不可避免的，此时，在光波导中传播的光波的一部分被配线吸收。

图1是表示形成于X切割型基板的DC电极的一例的图。图1中示出将2个马赫-曾德尔型波导并排配置而成的光调制器。例如，图示出在主马赫-曾德尔型光波导的2个分支波导(A3、B3)中以嵌入型组装副马赫-曾德尔型光波导(副马赫-曾德尔型光波导的分支波导成为A1和A2、B1和B2)而成的嵌套型光波导的一部分。

对于一个马赫-曾德尔型光波导(A1～A3)而言，DC电极(C1、C2)以夹着光波导的方式形成，DC偏置电压(V1、V2)施加于各DC电极(C1、C2)。并且，对于另一个马赫-曾德尔型光波导(B1～B3)而言，DC电极(C3、C4)以夹着光波导的方式形成，DC偏置电压(V3、V4)施加于各DC电极(C3、C4)。

图1的DC电极中，例如在虚线E1和虚线E2所示的部位，配线横跨光波导(A1、B1)。因此，在光波导(A1)中传播的光波的一部分被吸收，在分支波导A1和分支波导A2中光的强度不同，成为合成两者时的消光比劣化的原因。关于光波导(B1～B3)也相同。尤其如嵌套型光波导等那样将多个马赫-曾德尔型光波导组装而成的光调制器中，使用高速调制或多值调制等高级的调制技术，消光比的稍微劣化也会成为对光调制器的特性带来较大影响的原因。

并且，在从光调制器的一个侧面侧向DC电极供电等的情况下，由于DC电极的配线的布线，配线的配置相对于光波导的对称轴(在马赫-曾德尔型光波导的情况下，为通过2个分支波导的中间的线)容易成为非对称。图1中，在与虚线E3的配线部分对称的部分(虚线E4)不存在配线。这种非对称性成为电极(配线)对光波导带来的内部应力在各光波导中不同的原因，因各光波导的模场直径的变化而进一步引起消光比的劣化或温度漂移现象(因温度变化而马赫-曾德尔型光波导的工作点位移的现象)。

以往技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2005-244655号公报

发明的概要

发明要解决的技术课题

本发明所要解决的课题在于解决如上所述的问题，并提供一种抑制消光比的劣化、进而能够抑制温度漂移现象的光调制器。