[发明专利]防护膜组件膜、防护膜组件框体、防护膜组件及其制造方法有效

专利信息
申请号: 201680003768.1 申请日: 2016-01-22
公开(公告)号: CN107003602B 公开(公告)日: 2021-03-12
发明(设计)人: 大久保敦;美谷岛恒明;小野阳介;高村一夫;藤井泰久;松本信子 申请(专利权)人: 三井化学株式会社
主分类号: G03F1/62 分类号: G03F1/62;G03F1/66;G03F7/20
代理公司: 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 代理人: 金鲜英;涂琪顺
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 防护 组件 及其 制造 方法
【权利要求书】:

1.一种防护膜组件的制造方法,其特征在于,

在基板上形成防护膜组件膜,

修整所述基板,以及

在所述修整后至少去除所述基板的一部分。

2.根据权利要求1所述的防护膜组件的制造方法,其特征在于,在去除所述基板的一部分之前,至少去除附着于所述防护膜组件膜表面的粒子。

3.根据权利要求2所述的防护膜组件的制造方法,其包括:在去除所述粒子之前,将所述基板的端部进行倒角加工。

4.根据权利要求1所述的防护膜组件的制造方法,去除所述基板的一部分的工序为湿法蚀刻工序。

5.根据权利要求3所述的防护膜组件的制造方法,其特征在于,在去除所述粒子之前,至少在所述基板中形成孔。

6.根据权利要求3所述的防护膜组件的制造方法,其特征在于,在去除所述粒子之前,至少在所述防护膜组件膜和所述基板中形成孔。

7.根据权利要求5所述的防护膜组件的制造方法,其特征在于,所述孔是使用极短脉冲激光形成的。

8.根据权利要求6所述的防护膜组件的制造方法,其特征在于,所述孔是使用极短脉冲激光形成的。

9.根据权利要求4所述的防护膜组件的制造方法,所述孔是通过所述湿法蚀刻工序设置的。

10.根据权利要求1所述的防护膜组件的制造方法,其特征在于,使用极短脉冲激光进行所述修整。

11.一种防护膜组件框体,具有防护膜组件膜和第一框体,

所述防护膜组件膜张紧地架设于所述第一框体,

在所述第一框体的端部具有至少一个弯曲部。

12.一种防护膜组件框体,具有防护膜组件膜和第一框体,

所述防护膜组件膜张紧地架设于第一框体,

在所述第一框体的端部具有斜面,

所述第一框体的上表面与所述斜面所成的角度为100度~170度。

13.一种防护膜组件,具有权利要求11所述的防护膜组件框体、以及第二框体,

所述防护膜组件框体连接于所述第二框体,

在所述第二框体的端部具有弯曲部。

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