[发明专利]防护膜组件膜、防护膜组件框体、防护膜组件及其制造方法有效
申请号: | 201680003768.1 | 申请日: | 2016-01-22 |
公开(公告)号: | CN107003602B | 公开(公告)日: | 2021-03-12 |
发明(设计)人: | 大久保敦;美谷岛恒明;小野阳介;高村一夫;藤井泰久;松本信子 | 申请(专利权)人: | 三井化学株式会社 |
主分类号: | G03F1/62 | 分类号: | G03F1/62;G03F1/66;G03F7/20 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 金鲜英;涂琪顺 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 防护 组件 及其 制造 方法 | ||
1.一种防护膜组件的制造方法,其特征在于,
在基板上形成防护膜组件膜,
修整所述基板,以及
在所述修整后至少去除所述基板的一部分。
2.根据权利要求1所述的防护膜组件的制造方法,其特征在于,在去除所述基板的一部分之前,至少去除附着于所述防护膜组件膜表面的粒子。
3.根据权利要求2所述的防护膜组件的制造方法,其包括:在去除所述粒子之前,将所述基板的端部进行倒角加工。
4.根据权利要求1所述的防护膜组件的制造方法,去除所述基板的一部分的工序为湿法蚀刻工序。
5.根据权利要求3所述的防护膜组件的制造方法,其特征在于,在去除所述粒子之前,至少在所述基板中形成孔。
6.根据权利要求3所述的防护膜组件的制造方法,其特征在于,在去除所述粒子之前,至少在所述防护膜组件膜和所述基板中形成孔。
7.根据权利要求5所述的防护膜组件的制造方法,其特征在于,所述孔是使用极短脉冲激光形成的。
8.根据权利要求6所述的防护膜组件的制造方法,其特征在于,所述孔是使用极短脉冲激光形成的。
9.根据权利要求4所述的防护膜组件的制造方法,所述孔是通过所述湿法蚀刻工序设置的。
10.根据权利要求1所述的防护膜组件的制造方法,其特征在于,使用极短脉冲激光进行所述修整。
11.一种防护膜组件框体,具有防护膜组件膜和第一框体,
所述防护膜组件膜张紧地架设于所述第一框体,
在所述第一框体的端部具有至少一个弯曲部。
12.一种防护膜组件框体,具有防护膜组件膜和第一框体,
所述防护膜组件膜张紧地架设于第一框体,
在所述第一框体的端部具有斜面,
所述第一框体的上表面与所述斜面所成的角度为100度~170度。
13.一种防护膜组件,具有权利要求11所述的防护膜组件框体、以及第二框体,
所述防护膜组件框体连接于所述第二框体,
在所述第二框体的端部具有弯曲部。
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