[发明专利]显微可见的颗粒的高精度定量

权利要求书

1.一种用于显微可见的颗粒的定量的方法，包括：

提供过滤膜(116)，所述过滤膜(116)具有穿过该过滤膜(116)而限定的多个孔(138)，所述过滤膜(116)与真空室(104)操作接合；

利用密封剂(140)密封所述孔；

在包含液体(144)和显微可见的颗粒(142)的样本液滴(126)不触及所述过滤膜(116)的任何外边缘的情况下将所述样本液滴(126)施加到所述过滤膜(116)上；

所述液体(144)使设置在所述样本液滴(126)下方的孔(138e-138h)中的密封剂(140)溶解；

所述液体(144)流过其中密封剂(140)已被溶解的孔，并且所述显微可见的颗粒(142)留在所述过滤膜(116)的顶部；以及

所述显微可见的颗粒(142)在电子显微术中被计数。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述方法进一步包括将包含所述过滤膜(116)的过滤器组件(112)预先安装到SEM支撑体(120)上的步骤。

3.根据权利要求2所述的方法，其中，所述方法进一步包括将安装带(122)放置在所述SEM支撑体(120)上的步骤。

4.根据权利要求1所述的方法，其中，所述方法进一步包括在使所述样本液滴(126)沉积在所述过滤膜(116)上之前提供具有限定在其中的细长通道(128)的SEM支撑体(120)、使用包含所述样本液滴(126)的注入器(118)以及使所述注入器(118)在细长通道(128)的顶部对齐的步骤。

5.根据权利要求2所述的方法，其中，所述方法进一步包括将所述SEM支撑体(120)连接到与真空源(102)连接的真空室(104)和经由细长通道(128)使所述过滤膜(116)经受抽吸力的步骤。

6.根据权利要求1所述的方法，其中，所述方法进一步包括所述液体(144)仅使设置在样本液滴(126)正下方的孔(138e-138h)中的密封剂(140)溶解、而相邻的孔(138a-138d，138i-138j)保持被密封剂(140)密封的步骤。

7.根据权利要求1所述的方法，其中，所述方法进一步包括所述显微可见的颗粒(142)在所述过滤膜(116)上形成足迹(136)和从所述足迹(136)的外周边(137)朝着所述足迹(136)的中心(139)对颗粒(142)进行扫描的步骤。

8.根据权利要求1所述的方法，其中，所述方法进一步包括使用所述液体(144)的稀释剂来使位于所述样本液滴(126)直接下方的孔中的密封剂(140)溶解的步骤。

9.根据权利要求1所述的方法，其中，所述方法进一步包括使用甘氨酸作为密封剂(140)的步骤。