[发明专利]树脂组合物、使用其的固体摄像器件及其制造方法

权利要求书

1.树脂组合物，其特征在于，所述树脂组合物包含(a)溶剂、(b)二氧化硅粒子、(c)聚硅氧烷及(d)仲胺或叔胺化合物，且(a)溶剂包含具有下述通式(1)表示的β-二酮结构的有机酸溶剂，(c)聚硅氧烷含有下述通式(7)、通式(8)表示的化合物，(d)仲胺或叔胺化合物含有下述通式(9)表示的化合物，

通式(1)中，R¹及R²可以相同也可以不同，各自表示-CH₃、-C₂H₅、-C₃H₇、-C₄H₉、-OCH₃、-OC₂H₅、-OC₃H₇或-OC₄H₉，

通式(9)中，R⁹、R¹⁰可以相同也可以不同，各自为碳原子数2至12的脂肪族烃基；R¹¹为碳原子数2至12的脂肪族烃基或氢原子，

通式(7)中，R³为碳原子数1～5的氟代烷基，R⁴、R⁵及R⁶各自独立地表示氢或碳原子数1～4的烷基，

通式(8)中，m表示0～2的整数，R⁷表示碳原子数1～4的亚烷基，R⁸各自独立地表示氢或碳原子数1～4的烷基。

2.如权利要求1所述的树脂组合物，其中，(a)溶剂中包含的具有通式(1)表示的β-二酮结构的所述有机酸溶剂是使用50质量％的乙醇水溶液以质量比计稀释5倍时显示出pH4.0～6.8的有机酸溶剂。

3.如权利要求1或2所述的树脂组合物，其中，具有所述通式(1)表示的β-二酮结构的有机酸溶剂在(a)溶剂中的比率为10重量％以上且小于70重量％。

4.如权利要求1或2所述的树脂组合物，其中，具有所述通式(1)表示的β-二酮结构的有机酸溶剂的沸点为50℃以上且200℃以下。

5.如权利要求1或2所述的树脂组合物，其中，(b)二氧化硅粒子的粒径为1～100nm。

6.如权利要求1或2所述的树脂组合物，其中，(d)仲胺或叔胺化合物的含量相对于(b)二氧化硅粒子及(c)聚硅氧烷的总量为1～10重量％。

7.如权利要求1或2所述的树脂组合物，其中，(c)聚硅氧烷是将烷氧基硅烷化合物水解及/或缩聚而得到的聚硅氧烷。

8.固体摄像器件，其具有光电转换部、设置于所述光电转换部的受光面的上方的透镜、和设置于所述透镜之上的防反射膜，

其中，防反射膜包含权利要求1～7中任一项所述的树脂组合物的固化膜。

9.如权利要求8所述的固体摄像器件，其中，所述透镜的透镜顶点处的所述固化膜的膜厚(d_TOP)、和下述线与所述透镜相交的点处的所述固化膜的膜厚(d_45L及d_45R)的平均值(d₄₅)为0≤((d₄₅-d_TOP)/d_TOP)≤0.20的范围，所述线是在通过所述透镜顶点且与所述透镜的底面正交的任意截面中、从自所述透镜顶点向所述透镜的底面垂直下垂的线与所述底面的交点起沿左右的与所述透镜底面呈45°角度的方向延伸的线。

10.如权利要求8或9所述的固体摄像器件，其中，所述固化膜的膜厚为50～200nm的范围。