[发明专利]树脂组合物、使用其的固体摄像器件及其制造方法

说明书

本发明提供一种树脂组合物，其特征在于，所述树脂组合物包含(a)溶剂、(b)二氧化硅粒子、(c)聚硅氧烷及(d)仲胺或叔胺化合物，且(a)溶剂包含有机酸。本发明提供一种即使在透镜形状等具有凹凸的基底上也能简便地得到均匀的膜、且保存稳定性也良好的树脂组合物。

技术领域

本发明涉及树脂组合物。此外，还涉及使用其的固体摄像器件、及固体摄像器件的制造方法。

背景技术

已广泛开发了将二氧化硅粒子与聚硅氧烷组合的技术，且已知这样的技术涉及多个领域。防污效果好、提高硬度、降低折射率等是其一例，功能涉及很多方面。

另外，对于CCD等固体摄像器件而言，提出了在光电转换元件上形成聚光用的微透镜，并在其表面上形成防反射膜。防反射膜可发挥防止眩光、重影(ghost)这样的噪声的作用。

防反射膜的形成方法可大致分为涂布形成型和气相生长形成型，其中，前者的成本低。在气相生长形成型的防反射膜的情况下，通常需要大规模设备，且难以形成大面积的膜。

一般而言，涂布形成型的防反射膜可通过将能形成防反射膜的液体(涂布型组合物)涂布于基板上并使之固化从而进行制膜这样的简单工序来得到。

作为透镜上的涂布形成型的防反射膜，提出了：将在树脂中包含大量空间的多孔层形成防反射膜(例如，参见专利文献1)；使低折射率树脂在透镜表面热熔接而形成防反射膜(例如，参见专利文献2)；包含中空二氧化硅和粘结剂树脂的防反射膜(例如，参见专利文献3)；将包含二氧化硅凝胶和烷氧基硅烷的水解物的涂布液固化从而形成防反射膜(例如，参见专利文献4)；等等。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利第3921952号

专利文献2：日本特开2003-258224号公报

专利文献3：日本特开2010-267770号公报

专利文献4：日本特开平8-122501号公报

发明内容

发明所要解决的问题

然而，现有技术中存在下述问题：在具有透镜形状等凹凸的基底上难以形成膜厚均匀性高的防反射膜。例如，在使用如上所述的涂布型组合物的情况下，涂布型组合物将流入到透镜之间的凹部，而在透镜上部基本上未形成膜。透镜之间的间隙不会成为V字型、而是会成为带圆弧的向下凸的形状，因此无法将入射光摄入到光电受光部中，敏感度不会提高。另外，由于基底的凹凸而导致发生条纹(striation)等涂布不良，从该方面考虑，也难以得到均匀的膜。

并且，由于在体系中包含二氧化硅粒子，因此在组合物的保存中还存在粒子析出等保存稳定性方面的问题。

本发明的目的在于提供一种即使在透镜形状等具有凹凸的基底上也能简便地得到均匀的膜、且保存稳定性也良好的树脂组合物。

用于解决问题的手段

本发明为一种树脂组合物，其特征在于，所述树脂组合物包含(a)溶剂、(b)二氧化硅粒子、(c)聚硅氧烷及(d)仲胺或叔胺化合物，且(a)溶剂包含有机酸。

发明效果

根据本发明，能够得到同时实现良好的涂布性及保存稳定性的树脂组合物。另外，根据本发明，可提供一种能够提高制造效率的固体摄像器件的制造方法。

附图说明

[图1]为示出本发明的固体摄像器件的一个实施方式的部分截面图

[图2]为通过透镜顶点且与透镜的底面正交的截面的示意图

[图3]为示出在透镜上形成固化膜之前的微透镜阵列的截面图