[发明专利]Mn-Zn-W-O类溅射靶材及其制造方法

权利要求书

1.溅射靶材，其为在成分组成中含有Mn、Zn、W和O的Mn-Zn-W-O类溅射靶材，其特征在于，

在前述溅射靶材的X射线衍射中，来源于仅由Mn和O构成的锰氧化物的峰的最大峰强度P_MnO与来源于W的峰的最大峰强度P_w之比P_MnO/P_w为0.027以下。

2.权利要求1所述的溅射靶材，其中，在前述溅射靶材的X射线衍射中，存在来源于WMnO₄晶体相的峰。

3.权利要求1或2所述的溅射靶材，其中，前述来源于WMnO₄晶体相的峰的最大峰强度P_WMnO与前述最大峰强度P_w之比P_WMnO/P_w为0.024以上。

4.权利要求1或2所述的溅射靶材，其中，相对于Mn、Zn和W的合计100原子%，Mn：4~40原子%，Zn：15~60原子%，W：5~40原子%。

5.权利要求1或2的任一项所述的溅射靶材，其中，在前述成分组成中还包含选自由Cu、Mg、Ag、Ru、Ni、Zr、Mo、Sn、Bi、Ge、Co、Al、In、Pd、Ga、Te、V、Si、Ta、Cr、Tb构成的组的单独1种或2种以上的元素。

6.权利要求5所述的溅射靶材，其中，在前述溅射靶材的构成元素中，相对于除了O以外的合计100原子%，选自前述组的单独1种或2种以上的元素的含有率为8~70原子%。

7. 制造方法，其为制造权利要求1所述的Mn-Zn-W-O类溅射靶材的方法，其特征在于，包括：

对包含在成分中含有Mn的粉末、在成分中含有Zn的粉末和在成分中含有W的粉末的混合粉末进行12小时以上的湿式混合的混合步骤，和

该混合步骤之后，在700℃以上的温度下烧结前述混合粉末的烧结步骤。

8.权利要求7所述的制造方法，其中，前述在成分中含有Mn的粉末由锰氧化物粉末构成，前述在成分中含有Zn的粉末由锌氧化物粉末构成，前述在成分中含有W的粉末由金属钨粉末构成。

9.权利要求7或8所述的制造方法，其中，前述混合粉末还包含由选自Cu、Mg、Ag、Ru、Ni、Zr、Mo、Sn、Bi、Ge、Co、Al、In、Pd、Ga、Te、V、Si、Ta、Cr、Tb的单独1种或2种以上的元素的单质或化合物构成的粉末。