[发明专利]热处理装置

权利要求书

1.一种热处理装置，其中，

该热处理装置具有筒状的加热器、由连接于所述加热器的两端的石墨管形成的槽以及形成于所述槽的电极，

所述加热器包括：

第1石墨管；

第2石墨管，其配置为一个端面与所述第1石墨管的一个端面接触，并具有比所述第1石墨管的电阻高的电阻；以及

第3石墨管，其配置为一个端面与所述第2石墨管的另一个端面接触，并具有比所述第2石墨管的电阻低的电阻。

2.根据权利要求1所述的热处理装置，其中，

该热处理装置还具有：

压入装置，其配置于所述加热器的一个开口处，朝向所述加热器内的另一开口压入被处理材料；

气体导入口，其形成为与所述加热器的内部连通；以及

气体排气口，其形成为与所述加热器的内部连通，

所述气体导入口在所述加热器的轴向上配置在比所述第2石墨管靠所述加热器的另一开口侧的位置，

所述气体排气口在所述加热器的轴向上配置在所述第2石墨管和所述压入装置之间。

3.根据权利要求2所述的热处理装置，其中，

该热处理装置还具有以覆盖所述加热器的周面的方式配置的绝热材料，

所述气体排气口配置在被所述绝热材料覆盖的部分。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的热处理装置，其中，

该热处理装置还具有用于测量所述加热器的温度的多个温度传感器。